化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
DIC最初是一家印刷油墨制造商和分銷商，以有機顏料和合成樹脂為基礎材料，擴大了業務范圍，開發了從材料到加工產品和解決方案的廣泛業務和產品。
查看更多產品簡介
日本DIC eFLOW3AP超純水防靜電裝置產品參數
| 供貨周期 | 兩周 |
日本DIC eFLOW3AP超純水防靜電裝置詳細信息
日本DIC eFLOW3AP超純水防靜電裝置
日本DIC eFLOW3AP超純水防靜電裝置
一、工作原理
超純水（DIW）從中空纖維膜內側流過，CO?氣體從膜外側透過致密透氣膜溶解進純水（膜只透氣、不透水）；
CO?溶于水電離出微量離子，提升純水導電能力、降低電阻率；
設備通過配比CO?飽和水 + 原生超純水的混合比例，閉環精準控制出水電阻率，穩定抑制靜電積累，杜絕清洗時靜電擊穿晶圓線路、粉塵靜電吸附問題。
配套 CO?溶解模組原廠質保5 年，壽命遠優于同類競品。
| 型號 | 處理流量 (L/min) | 內置膜芯模組 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AP-B02 | 1～16 | PF-001L-NA×1 |
| eFLOW 2AP-B01 | 5～30 | PF-001L-ND2×2 |
| eFLOW 3AP-B01 | 10～50 | PF-001L-ND3×2 |
2.C 型（Cabinet，落地柜式，自帶 CO?氣瓶倉，大流量）
| 型號 | 適用流量 (L/min) |
|---|---|
| 1AC-P201 | 1～16 |
| 2AC-P201 | 5～30 |
| 3AC-P201 | 10～50 |
工況參數：進水壓力 0.1~0.3MPa（瞬時承壓≤0.5MPa）、水溫 10~40℃（防凍結冰）、設備供電 AC100V/24V，單臺凈重 9~100kg（小機型約 9kg）
二、C 系列（Cabinet 柜式整機，帶 CO?氣瓶倉 + 電阻率自控，落地一體機）
| 型號 | 處理流量 (L/min) | 內置膜芯模組 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AC-P201 | 1～16 | PF-001L-NA×1 |
| eFLOW 2AC-P201 | 5～30 | PF-001L-ND2×2 |
| eFLOW 3AC-P201 | 10～50 | PF-001L-ND3×2 |
三、配套中空纖維脫氣膜芯（替換耗材型號）
PF-001L-NA（適配 1AP/1AC 機型）
PF-001L-ND2（適配 2AP/2AC 機型）
PF-001L-ND3（適配 3AP/3AC 機型）
四、特殊定制大流量型號
eFLOW 5AC/5AP：70～100L/min 超大流量定制款
30A-L1：小型簡易 CO?防靜電單元（緊湊型模組）
三、核心產品優勢
電阻率穩定性ji強：du有分流管路設計，流量波動下出水阻值波動極小，對比國產設備控值精度提升 60%，適配高精度晶圓切割 / 濕法清洗；
故障率低：無精密泵閥、無動態密封結構，模塊化構造，運維簡單；
低水壓損耗：DIC 中空纖維膜低壓滲透，管路壓降小，不用額外增壓泵，節省純水站改造成本；
多功能拓展：除 CO?調質防靜電，更換模組可實現純水脫氧、制備弱酸性功能清洗水、鍋爐給水除氧。
電阻率穩定性ji強：du有分流管路設計，流量波動下出水阻值波動極小，對比國產設備控值精度提升 60%，適配高精度晶圓切割 / 濕法清洗；
故障率低：無精密泵閥、無動態密封結構，模塊化構造，運維簡單；
低水壓損耗：DIC 中空纖維膜低壓滲透，管路壓降小，不用額外增壓泵，節省純水站改造成本；
多功能拓展：除 CO?調質防靜電，更換模組可實現純水脫氧、制備弱酸性功能清洗水、鍋爐給水除氧。
四、主流應用場景（半導體 / 光電為主）
半導體晶圓：硅片 DICING 切割清洗、濕法槽洗、SC 清洗、Wafer 高壓噴淋；
面板 / 光學：LCD/OLED 基板清洗、掩模版 / 光罩清洗，防止靜電擊穿像素線路；
精密電子：PCB 超細線路清洗、元器件超純水漂洗；
其他：光伏硅片清洗、精密五金超純水防靜電噴淋、超聲波清洗線調質用水。
半導體晶圓：硅片 DICING 切割清洗、濕法槽洗、SC 清洗、Wafer 高壓噴淋；
面板 / 光學：LCD/OLED 基板清洗、掩模版 / 光罩清洗，防止靜電擊穿像素線路；
精密電子：PCB 超細線路清洗、元器件超純水漂洗；
其他：光伏硅片清洗、精密五金超純水防靜電噴淋、超聲波清洗線調質用水。
五、拓展補充
eFLOW 隸屬于 DIC SEPARAL 膜系產品線，同系列還有 EF/PF 系列單支脫氣 / 供氣膜元件（僅模組、無電控柜體），eFLOW 是集成電控 + 混水 + CO?供氣的成套整機設備，多用于產線終端純水調質段。
eFLOW 隸屬于 DIC SEPARAL 膜系產品線，同系列還有 EF/PF 系列單支脫氣 / 供氣膜元件（僅模組、無電控柜體），eFLOW 是集成電控 + 混水 + CO?供氣的成套整機設備，多用于產線終端純水調質段。
關聯品牌
留言咨詢
內容聲明：
您訪問的日本DIC eFLOW3AP超純水防靜電裝置產品信息，由玉崎半導體(深圳)有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于日本DIC eFLOW3AP超純水防靜電裝置型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發布評論