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上海泊勛儀器科技有限公司是一家專注于光學(xué)電學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新型公司，公司致力于通過技術(shù)和服務(wù)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，滿足不斷變化的市場(chǎng)需求。主營：光譜光電集成系統(tǒng)、光電探測(cè)系統(tǒng)。
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光電探測(cè)器光譜響應(yīng)度標(biāo)定系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
光電探測(cè)器光譜響應(yīng)度標(biāo)定系統(tǒng)詳細(xì)信息
Ø 產(chǎn)品概述
REP1000光電探測(cè)器光譜響應(yīng)度標(biāo)定系統(tǒng)是一款面向科研和高精度工業(yè)應(yīng)用的全自動(dòng)化測(cè)試平臺(tái)，專為精確測(cè)量光電探測(cè)器在寬光譜范圍內(nèi)的量子響應(yīng)特性而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)光譜范圍覆蓋200–2500 nm，可擴(kuò)展至14000 nm中遠(yuǎn)紅外波段，支持微納級(jí)與毫米級(jí)光電器件，并能在不同偏壓條件下對(duì)器件光電響應(yīng)進(jìn)行高精度測(cè)量。
Ø 系統(tǒng)設(shè)計(jì)原理
REP1000光電探測(cè)器光譜響應(yīng)度標(biāo)定系統(tǒng)基于國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量方法與標(biāo)準(zhǔn)替代法（Substitution Method）原理設(shè)計(jì)，通過標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器與待測(cè)器件在相同輻照條件下進(jìn)行測(cè)量比較，實(shí)現(xiàn)待測(cè)器件絕對(duì)光譜響應(yīng)度的準(zhǔn)確標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器可提供國家計(jì)量溯源證書，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性與可追溯性。
REP1000系統(tǒng)采用高穩(wěn)定性寬譜光源，經(jīng)單色儀分光后輸出窄帶單色光，并通過全反射光學(xué)結(jié)構(gòu)完成寬波段光譜掃描測(cè)試。全反射光路設(shè)計(jì)可有效降低寬波段測(cè)試過程中因色差引起的系統(tǒng)誤差，保證不同波長(zhǎng)下光斑尺寸與能量分布的一致性。
REP1000通過結(jié)合光學(xué)調(diào)制與低噪聲信號(hào)檢測(cè)技術(shù)，可有效抑制環(huán)境噪聲、背景雜散光及暗電流干擾，實(shí)現(xiàn)光譜響應(yīng)度、外/內(nèi)量子效率、透射率及反射率等參數(shù)的高精度測(cè)量。
Ø 核心優(yōu)勢(shì)
Ø 系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)
| 參數(shù) | 技術(shù)指標(biāo) |
| 光譜范圍 | 200–2500 nm（可擴(kuò)展至14μm中遠(yuǎn)紅外） |
| 單色儀焦距 | 200 mm / 300 mm / 500 mm 可選 |
| 光學(xué)結(jié)構(gòu) | Czerny-Turner（C-T）結(jié)構(gòu) |
| 光柵配置 | 多光柵自動(dòng)切換 |
| 波長(zhǎng)準(zhǔn)確度 | ±0.2 nm |
| 波長(zhǎng)重復(fù)性 | ≤0.01 nm |
| 波長(zhǎng)掃描速度 | 0.1~100 nm/s 可調(diào) |
| 最小掃描步距 | 0.005 nm |
| 光譜分辨率 | 最高 0.056 nm（PMT，500 mm 焦距） |
| 雜散光抑制比 | ≤5 × 10?? |
| 光源穩(wěn)定性 | ≤1%/h |
| 測(cè)試重復(fù)性 | ≤1% |
| 狹縫范圍 | 0.01–3 mm 連續(xù)可調(diào) |
| 光斑尺寸 | ≤1 mm |
| 檢測(cè)電流范圍 | pA–mA 級(jí) |
| 電流分辨率 | 電流分辨率 ≤10 fA（選配） |
| 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 | Si、InGaAs、InSb可選 |
| 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器溯源 | NIM / NIST可選 |
| 輔助探測(cè)器 | PMT、熱釋電探測(cè)器 |
| 樣品定位 | CCD 實(shí)時(shí)監(jiān)控 |
| 探針系統(tǒng) | 10–20 μm 微探針 |
| 位移平臺(tái) | XYZ 精密位移臺(tái) |
| 環(huán)境擴(kuò)展 | 液氮低溫、高溫、真空、惰性氣氛測(cè)試可選 |
Ø 系統(tǒng)特點(diǎn)
n 寬波段光譜測(cè)試平臺(tái)
REP1000 采用模塊化寬譜光學(xué)架構(gòu)，系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置波段覆蓋 200–2500 nm (最高可擴(kuò)展至14000nm中遠(yuǎn)紅外波段)，并可根據(jù)應(yīng)用需求擴(kuò)展不同波長(zhǎng)范圍。系統(tǒng)適用于深紫外探測(cè)器、可見光光電器件、近紅外傳感器以及部分中紅外探測(cè)器的光譜響應(yīng)測(cè)試，可滿足科研與產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域?qū)Χ嗖ǘ纹骷臏y(cè)量需求。
系統(tǒng)兼容多種類型光電器件，包括：
· PN 結(jié)光伏型器件
· PIN 光電二極管
· 雪崩光電二極管（APD）
· 光電導(dǎo)型探測(cè)器
· 光電晶體管及陣列器件
· 微納尺度低維半導(dǎo)體器件
· TFT 與新型薄膜光電器件
n 多類型高穩(wěn)定性光源配置
為適應(yīng)不同波段測(cè)試需求，REP1000 提供多種高穩(wěn)定性光源配置方案，包括氙燈光源、溴鎢燈雙光源、EQ99激光驅(qū)動(dòng)光源、超連續(xù)白光光源和黑體光源等，可根據(jù)器件響應(yīng)范圍進(jìn)行靈活選配。
系統(tǒng)采用穩(wěn)流驅(qū)動(dòng)與優(yōu)化散熱結(jié)構(gòu)，保證光源輸出穩(wěn)定性。結(jié)合調(diào)制檢測(cè)技術(shù)，可有效降低背景噪聲對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，提高系統(tǒng)重復(fù)性與長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
n 高精度反射式光學(xué)系統(tǒng)
· 全反射光學(xué)系統(tǒng)：消除色差對(duì)光斑均勻性的影響，保證各波長(zhǎng)下光斑穩(wěn)定一致。
· 光斑尺寸控制：≤1 mm，適用于微米尺度器件及微納結(jié)構(gòu)光電器件測(cè)試。
· 樣品定位CCD監(jiān)控系統(tǒng)：實(shí)現(xiàn)光斑實(shí)時(shí)觀察與樣品精確定位。
n 微弱信號(hào)檢測(cè)與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)
REP1000 針對(duì)微弱光電流信號(hào)測(cè)試進(jìn)行了低噪聲優(yōu)化設(shè)計(jì)，支持鎖相放大器、Keithley 源表及高靈敏度電流放大器等多種采集設(shè)備。通過三同軸屏蔽、電磁隔離與同步調(diào)制采集設(shè)計(jì)，可有效抑制環(huán)境噪聲及暗電流干擾，提高低響應(yīng)器件測(cè)試能力。
系統(tǒng)支持：
· pA 級(jí)微弱電流檢測(cè)
· 自動(dòng)偏壓加載與掃描
· 交流/直流測(cè)試模式切換
· 多通道數(shù)據(jù)同步采集
n 多參數(shù)綜合測(cè)量能力
REP1000 不僅支持標(biāo)準(zhǔn)光譜響應(yīng)度（SR）測(cè)量，還能夠?qū)崿F(xiàn)多種光電性能參數(shù)分析，滿足科研領(lǐng)域?qū)ζ骷C合表征的需求。軟件平臺(tái)支持自動(dòng)波長(zhǎng)掃描、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、曲線分析及實(shí)驗(yàn)方案管理，可自動(dòng)生成 TXT、Excel 等格式測(cè)試數(shù)據(jù)，便于后續(xù)科研分析與結(jié)果歸檔。
系統(tǒng)支持測(cè)量?jī)?nèi)容包括：
· 光譜響應(yīng)度（SR）
· 外量子效率（EQE）
· 基于EQE數(shù)據(jù)計(jì)算內(nèi)量子效率（IQE）
· 光電流-時(shí)間響應(yīng)（I-t）
· 偏壓條件下光譜響應(yīng)測(cè)試
· 透射率與反射率測(cè)試
· I-V 特性測(cè)試
· 基于EQE數(shù)據(jù)計(jì)算短路電流密度（Jsc）
Ø 系統(tǒng)配置
REP1000 光電探測(cè)器光譜響應(yīng)度標(biāo)定系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)測(cè)試波段、器件類型及實(shí)驗(yàn)需求靈活配置光源、單色儀、數(shù)據(jù)采集及樣品測(cè)試模塊，滿足科研與高精度光電測(cè)試應(yīng)用需求。
n 光源模塊
系統(tǒng)支持多種寬譜高穩(wěn)定性光源，可根據(jù)不同波段及測(cè)試需求進(jìn)行靈活選配。
| 配置選項(xiàng) | 波長(zhǎng)范圍 | 技術(shù)特點(diǎn) |
| 氙燈光源 | 250–2500 nm | 高亮度連續(xù)光譜輸出，適用于寬譜響應(yīng)測(cè)試 |
| 氙燈+鹵素?zé)綦p光源 | 250–2500 nm | 可見至近紅外波段光譜平滑，適用于寬譜測(cè)試 |
| EQ99 寬譜光源 | 200–2000 nm | 紫外輸出強(qiáng)，發(fā)光點(diǎn)小，壽命長(zhǎng) |
| 超連續(xù)白光光源 | 400–2000 nm | 高功率密度寬譜輸出，適用于高靈敏度測(cè)試 |
| 中遠(yuǎn)紅外黑體光源 | 2–14 μm | 適用于中遠(yuǎn)紅外探測(cè)器及熱探測(cè)器測(cè)試 |
光源穩(wěn)定度：≤1%/h（典型值），REP1000系統(tǒng)采用恒流驅(qū)動(dòng)與溫控優(yōu)化設(shè)計(jì)，保證長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試過程中輸出穩(wěn)定性，滿足高精度光譜響應(yīng)標(biāo)定需求。
n 單色儀模塊
系統(tǒng)采用高性能 Czerny-Turner（C-T）結(jié)構(gòu)光譜儀，支持多焦距及多光柵配置，實(shí)現(xiàn)寬波段高分辨率光譜掃描測(cè)試。
| 配置選項(xiàng) | 技術(shù)特點(diǎn) |
| 200 mm 焦距單色儀 | 通光效率高，適用于常規(guī)光譜響應(yīng)測(cè)試 |
| 300 mm 焦距單色儀 | 提供更高波長(zhǎng)分辨率與測(cè)試精度 |
| 500 mm 焦距單色儀 | 高分辨率窄帶光譜測(cè)試 |
| 多規(guī)格光柵 | 支持 UV–VIS–NIR 寬波段靈活配置 |
| 手動(dòng)/電動(dòng)狹縫 | 支持自動(dòng)化波長(zhǎng)掃描與光通量調(diào)節(jié) |
單色儀主要參數(shù)（@1200 g/mm 光柵）
| 參數(shù) | 200 mm | 300 mm | 500 mm |
| 光譜分辨率（CCD，25 μm） | 0.25 nm | 0.14 nm | 0.10 nm |
| PMT 分辨率 | 0.15 nm | 0.082 nm | 0.056 nm |
| 倒線色散 | 3.65 nm/mm | 2.44 nm/mm | 1.57 nm/mm |
| 波長(zhǎng)準(zhǔn)確度 | ±0.2 nm | ±0.2 nm | ±0.2 nm |
| 波長(zhǎng)重復(fù)性 | 0.02 nm | 0.01 nm | 0.01 nm |
| 最小掃描步距 | 0.01 nm | 0.005 nm | 0.005 nm |
n 數(shù)據(jù)采集模塊
系統(tǒng)針對(duì)微弱光電流檢測(cè)進(jìn)行了低噪聲優(yōu)化設(shè)計(jì)，可兼容多種鎖相放大器、源表及高靈敏度電流采集設(shè)備。
| 配置選項(xiàng) | 技術(shù)特點(diǎn) |
| 鎖相放大器 | 微弱交流信號(hào)檢測(cè)，提高系統(tǒng)信噪比 |
| Keithley 2400 | 基礎(chǔ) IV 與偏壓測(cè)試 |
| Keithley 2612B | 雙通道源測(cè)量與器件測(cè)試 |
| Keithley 2636B | 高精度低電流測(cè)量 |
Keithley 源表參數(shù)對(duì)比
| 參數(shù) | Keithley 2400 | Keithley 2612B | Keithley 2636B |
| 電流量程 | 100 μA–1 A | 100 nA–1 A | 1 nA–1 A |
| 最小信號(hào) | 100 nA | 1 nA | 10 pA |
| 本底噪聲 | 100 nA | 100 pA | 1 pA |
| 分辨率 | 10 pA | 100 fA | 10 fA |
| 通道數(shù) | 1 | 2 | 2 |
n 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器與檢測(cè)模塊
系統(tǒng)支持多種標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器及高靈敏度檢測(cè)器配置，可根據(jù)測(cè)試波段與靈敏度需求進(jìn)行靈活選配，實(shí)現(xiàn)紫外、可見、近紅外及中遠(yuǎn)紅外波段的高精度光譜響應(yīng)測(cè)試。標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器可選配國家計(jì)量院（NIM）或NIST溯源校準(zhǔn)證書，實(shí)現(xiàn)光譜響應(yīng)度測(cè)試結(jié)果的量值傳遞與計(jì)量溯源。
| 配置選項(xiàng) | 適用波段 | 技術(shù)特點(diǎn) |
| 1100-Si硅探測(cè)器 | 190–1100 nm | 深紫外、可見及近紅外波段高穩(wěn)定性響應(yīng)測(cè)試 |
| 1700TE-IGA制冷型銦鎵砷探測(cè)器 | 900–1700 nm | 近紅外波段高靈敏度檢測(cè) |
| 2600TE-IGA制冷型銦鎵砷探測(cè)器 | 900–2600 nm | 寬近紅外波段響應(yīng)測(cè)試 |
| 5500-InSb 銻化銦探測(cè)器 | 1-5.5 μm | 中紅外波段高靈敏度檢測(cè) |
| 熱釋電探測(cè)器 | 1-14μm | 中紅外及遠(yuǎn)紅外寬波段高穩(wěn)定性光譜響應(yīng)測(cè)試 |
n 樣品測(cè)試模塊
系統(tǒng)支持宏觀器件與微納器件測(cè)試，樣品通過真空吸附平臺(tái)進(jìn)行固定，結(jié)合高精度探針控制與 CCD 監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)樣品精確定位與穩(wěn)定測(cè)試。
| 配置選項(xiàng) | 技術(shù)特點(diǎn) |
| 10–20 μm 微探針 | 適用于微納器件測(cè)試 |
| 真空吸附平臺(tái) | 提高樣品固定穩(wěn)定性 |
| XYZ 精密位移臺(tái) | 實(shí)現(xiàn)微米級(jí)位置調(diào)節(jié) |
| CCD 樣品監(jiān)控 | 實(shí)時(shí)觀察光斑與探針位置 |
| 三同軸屏蔽結(jié)構(gòu) | 降低環(huán)境噪聲與漏電干擾 |
n 環(huán)境擴(kuò)展模塊
系統(tǒng)支持多種環(huán)境擴(kuò)展配置，可滿足特殊條件下的光電測(cè)試需求。
| 配置選項(xiàng) | 應(yīng)用場(chǎng)景 |
| 低溫測(cè)試模塊 | 低溫光電響應(yīng)研究 |
| 高溫測(cè)試模塊 | 高溫器件性能分析 |
| 真空測(cè)試模塊 | 降低環(huán)境干擾與氧化影響 |
| 惰性氣氛測(cè)試 | 新型敏感材料與器件測(cè)試 |
n 軟件控制模塊
系統(tǒng)配套自動(dòng)化測(cè)試軟件，典型測(cè)試重復(fù)性：≤1%，可實(shí)現(xiàn)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)比對(duì)與重復(fù)性分析，可有效評(píng)估器件一致性及測(cè)試穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)流程控制、自動(dòng)掃描與數(shù)據(jù)分析。
| 功能 | 描述 |
| 自動(dòng)波長(zhǎng)掃描 | 自動(dòng)完成寬譜測(cè)試 |
| 自動(dòng)偏壓加載 | 支持偏壓條件下響應(yīng)測(cè)試 |
| 數(shù)據(jù)自動(dòng)保存 | 支持 TXT、Excel 等格式導(dǎo)出 |
| 多方案管理 | 支持不同實(shí)驗(yàn)參數(shù)配置 |
| 曲線分析功能 | 支持 SR、EQE、IV 等數(shù)據(jù)分析 |
| 自動(dòng)化控制 | 實(shí)現(xiàn)光源、單色儀與數(shù)據(jù)采集聯(lián)動(dòng)控制 |
Ø 應(yīng)用領(lǐng)域及對(duì)象
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