TOHO-TEC東朋 電容電壓分析儀 ECV Pro+ 

TOHO-TEC東朋 電容電壓分析儀 ECV Pro+ 

 什么是ECV Pro+？

在半導(dǎo)體器件開發(fā)中，控制載流子濃度始終是一項關(guān)鍵挑戰(zhàn)。ECV Pro+ 是一款基于循環(huán)伏安法 (CV) 的器件，但與傳統(tǒng)的 CV 方法不同，它使用與材料接觸的電解質(zhì)電化學(xué)結(jié)（莫 特基結(jié)）而非金屬肖特基結(jié)來測量電容和載流子濃度。這使得它能夠獲取半導(dǎo)體深度方向上的更多信息。傳統(tǒng)方法通過施加反向偏置來測量深度方向上的載流子濃度。然而，測量深度受限于樣品特定的擊穿電壓。而使用電解質(zhì)的方法解決了這個問題。通過反復(fù)交替進行刻蝕和電容測量，可以進行不受深度限制的剖面分析。

特點 1：ECV Pro+ 的優(yōu)勢

傳統(tǒng)的CV分析方法由于反向電壓擊穿而導(dǎo)致深度測量受限，但ECV Pro+克服了這一限制。它是一種創(chuàng)新的測量技術(shù)，不會限制蝕刻剖面深度方向上的載流子濃度。

該技術(shù)的主要特點如下：

沒有深度限制：與受反向電壓擊穿限制的傳統(tǒng) CV 分析方法不同，該方法可以精確測量更深層中的載流子濃度。

多層樣品的測量：即使是具有復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)的樣品也能進行高精度測量。

 的深度分辨率：深度分辨率可達(dá) 1 nm 至 10 nm，即使是微小的載流子濃度分布也能精確測量。

特點 2：提高了自動化測量系統(tǒng)的操作性！

無需切割即可測量尺寸從 8 毫米見方到 6 英寸的樣品。此外，樣品與密封環(huán)的接觸、電解液注入、泵噴射去除氣泡、電解液排出和樣品清洗等操作均已實現(xiàn)自動化。更換密封環(huán)也十分便捷，只需插入和取出支架即可。與設(shè)備配套的自動化軟件使任何人都能輕松完成這項工作。

功能 3：ECVision 使用 CCD 相機測量蝕刻后的測量區(qū)域。

它配備了原位相機（ECVision），可以對半導(dǎo)體/電解質(zhì)界面進行實時成像，從而可以在測量過程中測量和觀察樣品表面狀態(tài)以及測量后的蝕刻區(qū)域。

用途/應(yīng)用

1太陽能發(fā)電

電化學(xué)電容-電壓分析儀 (ECV Pro+) 在太陽能電池的開發(fā)中至關(guān)重要，它可用于評估材料特性、檢測缺陷、提升器件性能以及優(yōu)化制造工藝。ECV Pro+ 能夠?qū)Π雽?dǎo)體材料中的載流子濃度和摻雜分布進行詳細(xì)測量，從而驗證材料的質(zhì)量和均勻性，并有助于進行設(shè)計調(diào)整，最終提升器件性能。

2高波長LED和激光器開發(fā)

長波長發(fā)光二極管（LED）和激光器通常采用III-V族半導(dǎo)體（例如GaAs和InP）制造。這些器件的發(fā)射波長和效率與有源層和外圍層的摻雜濃度和分布密切相關(guān)。利用ECV Pro+軟件，可以精確測量半導(dǎo)體層深度方向上的摻雜分布，從而實現(xiàn)工藝控制，獲得最佳器件性能。

3利用 MBE 或 MOCVD 反應(yīng)器進行外延生長

在采用分子束外延（MBE）和金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）反應(yīng)器進行外延生長時，之所以需要電化學(xué)電容電壓分析儀（ECV Pro+），主要是為了高精度分析摻雜分布、控制材料質(zhì)量、優(yōu)化工藝以及提升器件性能。ECV Pro+ 通過精確測量外延層的載流子濃度和摻雜分布，提供信息以確認(rèn)材料的均勻性和質(zhì)量，并調(diào)整生長條件以實現(xiàn)最佳工藝。

概述 規(guī)格

載流子濃度測量范圍

10 13至 10 20厘米 - 3 *

深度范圍

<0.05至>50μm*

深度分辨率

1納米及以上*

深度精度

0.01 微米 *

載波頻率

69Hz～27KHz

偏置電壓范圍

±10V 直流

光源選項

1. ECVpro-UV 型汞氙燈

2. ECVpro-WL 型鹵素?zé)?/p>

爆炸電壓

40伏交流電

快門

使用板材的遮光方法

控制電腦

微軟Windows 10

尺寸

寬630×深800×高1730毫米

重量

160公斤

電源

110VAC～240VAC ＜5安培

*取決于測量材料和樣品結(jié)構(gòu)。

我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗  watson沃森

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢產(chǎn)品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計、焊接機、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機、電子天平、粘度計、膜厚計、恒流泵、采樣泵、PH計、水分計、地震測試儀、脫泡攪拌機、壓力傳感器、氣體檢測儀、接近開關(guān)、拉拔機、異音檢測儀、應(yīng)變測試儀、拉針儀、水平測試儀等