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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

吉時(shí)利 4200A-SCS 是一款高性能半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，專為半導(dǎo)體器件、材料與納米電子研究設(shè)計(jì)，可精準(zhǔn)測(cè)量電流 - 電壓（I-V）、電容 - 電壓（C-V）、脈沖 I-V 及瞬態(tài)特性。它采用模塊化架構(gòu)，可按需搭配源測(cè)量單元（SMU）、前置放大器和 C-V 模塊，實(shí)現(xiàn)從飛安級(jí)電流到千伏級(jí)電壓的寬范圍高精度測(cè)量。搭載直觀的軟件平臺(tái)，支持自動(dòng)化測(cè)試、數(shù)據(jù)分析與器件建模，是高校實(shí)驗(yàn)室、科研機(jī)構(gòu)及半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)行器件研發(fā)、工藝優(yōu)化與可靠性驗(yàn)證的核心工具。

主要性能指標(biāo)：

I-V 源測(cè)量單元(SMU)

± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊

100 fA測(cè)量分辨率

選配前端放大器提供了 10 aA測(cè)量分辨率

10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量

100 μF負(fù)載電容

四象限操作

2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)

1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)

選配 CVIV 多通道開(kāi)關(guān)，在 I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)

兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道

200 MSa/s，5 ns 采樣率

±40 V (80 V p-p)，±800 mA

瞬態(tài)波形捕獲模式

任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

兩個(gè)高速脈沖電壓源通道

±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開(kāi)關(guān)模塊 (CVIV)

在 I-V測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換，無(wú)需重新布線或抬起探針

把 C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子，無(wú)需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開(kāi)關(guān)模塊(RPM)

在 I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖 I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換

把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安

降低電纜電容效應(yīng)