化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業，主要經營以下產品：氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等；產品*，價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業，公司擁有專業的售后服務人員及檢測設備，為用戶長期提供各類設備的檢測、保養、維修服務。
查看更多產品簡介
ULVAC愛發科 渦輪分子泵產品參數
| 價格區間 | 10萬-30萬 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
ULVAC愛發科 渦輪分子泵詳細信息
ULVAC愛發科 渦輪分子泵
ULVAC愛發科 渦輪分子泵
這是一款采用磁懸浮軸承的獨立控制器式渦輪分子泵。我們提供一系列型號，泵速范圍從300升/秒到4000升/秒。控制器單元可監控運行狀態，并支持多種通信標準。
特征
泵單元和控制器是分離的。
控制器單元可以監控運行狀態，并支持多種通信標準。安裝方向自由
：由于安裝方向沒有限制，設備設計的自由度大大增加。該系列發動機的排氣速度范圍從 300 升/秒到 4000 升/秒。
泵的轉速可在 25% 到 100% 的范圍內
變化，從而可以調節腔室壓力。高耐久性和安全性：
它通過了各種安全驗證測試，包括大氣進入試驗和著陸試驗。
目的
各種設備的真空主排氣系統
- 半導體制造設備
- 蒸發設備
- 濺射設備
- 分析設備、實驗設備等
- 研發設備不產生副產品的輕型工藝的主排氣系統
其他應用包括一般高真空排氣應用。
規格
表1
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方法 | 水冷 | 空冷式 | 水冷 | 空冷式 | 水冷 | 空冷式 | 水冷 | 空冷式 | ||
| 極限壓力*1 | 賓夕法尼亞州 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 排氣速度*2 | N2 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 阿爾 | 升/秒 | - | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮比 | N2 | 1 × 10? | ||||||||
| 他 | 8×10 4 | |||||||||
| H2 | 1 × 10 4 | 4 x 10 3 | ||||||||
| 最大進氣壓力*3 | 賓夕法尼亞州 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大排氣壓力*3 | 賓夕法尼亞州 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 轉速 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動時間 | 5分鐘內 | |||||||||
| 安裝方向 | 可以朝任意方向安裝。 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1-3 | - | 1-3 | - | 1-3 | - | 1-3 | - |
| 水壓 | 兆帕 | 02-0.5 | - | 02-0.5 | - | 02-0.5 | - | 02-0.5 | - | |
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦輔助泵 | 200升/分鐘或以上 | 500升/分鐘或以上 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 分離 | ||||||||
| 輸入功率 | 單相交流電 200-240V ±10% (50/60Hz ±2Hz) | |||||||||
| 所需最大功率 | 千伏安 | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 可變轉速功能 | 水泵的運行速度可以在指定轉速的 25% 到 100% 之間變化（設置可以以 0.1% 的增量進行調整）。 | |||||||||
| 外部控制 | 聯系輸入/輸出 | |||||||||
| RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示操作順序。
*2：無保護網時的數值。
*3：最大進氣壓力和最大排氣壓力的條件無法同時滿足。
表2
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 進氣口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排氣口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方法 | 水冷 | ||||||
| 極限壓力*1 | 賓夕法尼亞州 | 10-7 | |||||
| 排氣速度*2 | N2 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 阿爾 | 升/秒 | - | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | - | |
| H2 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮比 | N2 | 6×10 8 | 1 × 10? | ||||
| 他 | 1 × 10 4 | 7×10 4 | 1 × 10 5 | 3 x 10 4 | |||
| H2 | 1 × 103 | 3 x 10 3 | 6 × 103 | 2 × 103 | |||
| 最大進氣壓力*3 | 賓夕法尼亞州 | 133 | 40 | ||||
| 最大排氣壓力*3 | 賓夕法尼亞州 | 270 | 270 | ||||
| 轉速 | 轉速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動時間 | 7分鐘內 | 11分鐘內 | 12分鐘內 | 18分鐘內 | |||
| 安裝方向 | 可以朝任意方向安裝。 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1-3 | 2-4 | |||
| 水壓 | 兆帕 | 02-0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | 57 | 60 | |||
| 大量的 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦輔助泵 | 600升/分鐘或以上 | 1300升/分鐘或以上 | 1500升/分鐘或以上 | ||||
| 控制器 | 作品 | 分離 | |||||
| 輸入功率 | 單相交流電 200-240V ±10% (50/60Hz ±2Hz) | ||||||
| 所需最大功率 | 千伏安 | 1.0 | 1.5 | ||||
| 可變轉速功能 | 水泵的運行速度可以在指定轉速的 25% 到 100% 之間變化（設置可以以 0.1% 的增量進行調整）。 | ||||||
| 外部控制 | 聯系輸入/輸出 | ||||||
| RS-232C / RS-485 | |||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示操作順序。
*2：無保護網時的數值。
*3：最大進氣壓力和最大排氣壓力的條件無法同時滿足。
關聯品牌
留言咨詢
移動站：ULVAC愛發科 渦輪分子泵
內容聲明：
您訪問的ULVAC愛發科 渦輪分子泵產品信息，由玉崎半導體（深圳）有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于ULVAC愛發科 渦輪分子泵型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
相關分類
Categories
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發布評論