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昊量光電/星朗浩宇立式輪廓形貌測量儀

cyberSCAN CT350T是一種非接觸式雙面光學形貌測量設備，具有350mm XY定位平臺位于大理石平臺上下兩側的傳感器分別安裝在100 mm高精度自動Z軸上，同步采集高度測量數據并在垂直方向上保持物理上的同軸安裝，以確保差分厚度測量的高精確性SCANSUITE分析軟件可同時生成上、下表面的二維剖面或三維形貌數據，并計算出相應測量位置的形貌總厚度。運動系統利用高精度的直線電機，通過4kHz采樣率觸發傳感器，使掃描速率大化。搭配的白光共焦傳感器的縱向分辨率最小可達3nm，量程最高可達25mm。通過特制的安裝板，該系統可作為標準的單面光學表面輪廓儀使用，同時還可保留T型雙面測量設備厚度測量的多功能性。該系列設備還可提供多種規格版本，如CT250T及CT600T以滿足多種應用場景。

昊量光電/星朗浩宇立式輪廓形貌測量儀產品應用：

CT350T主要用于測量基板，晶圓，工業零件等產品的絕對厚度及TTV。測量精度不受樣品材料或表面特性的影響，同時也對樣品厚度也沒有任何要求，從小至幾微米厚度的樣品到幾厘米厚的樣品都可以輕松測量。應用包括：

• 任何規格材料的半導體晶圓玻璃晶圓等

• 工業零部件

• 燃料電池元件

• 醫療器件

• 特種薄膜材料等

該產品軟件特點：

cyberTECHNOLOGIES有的軟件系統SCAN SUITE將系統控制、數據收集和數據分析集成于一體，有龐大的數據分析功能可進行數據補償，形狀去除(平面，球形，不規則形狀，噪點等),濾波分析，剪裁，提取輪廓，特征識別等。用戶可生成分析模版保持分析的連續性和一致性。

進階版自動化分析軟件ASCAN可提供：

• 測量過程全自動化

• 模塊化程序構建

• 內置偏移量和對位校正

• 內置SPC圖表與報告功能

• 用戶自定義的數據輸出格式

• 支持條形碼或用戶字段輸入

• 重復性測量定義

該產品硬件特點：

• 快速、準確的雙掃描系統

• 4KHz(14 kHz可選)采樣頻率

• 多傳感器裝配

• 2D截面和3D形貌及3D總厚度測量

• 雙通道氣浮隔振系統，雙重防撞保護措施

• 高分辨率白光共焦傳感器

• 白光共焦傳感器分辨率最小可達3nm,測量范圍最大可達25mm

• 高分辨率離軸攝像機及分立式組合光源

• 支持SMEMA接口標準以及SECS/GEM通訊協議

該產品系統組成：

• XYZ高精密直線電機運動平臺

• 雙共焦傳感器(類型依項目需求而定， 參數見傳感器規格)

• 大理石平臺與氣浮雙重隔振系統

• ESD安全防護外罩

• 操縱桿控制

• 工業級PC工控機

• 預安裝Windows系統及SCAN SUITE軟件

• 寬屏顯示器，鍵盤，鼠標，參考手冊

該產品技術規格：