LINTEC琳得科 CV-3102 質(zhì)量流量控制器

LINTEC琳得科 CV-3102 質(zhì)量流量控制器

 壓電控制閥

安裝在高性能質(zhì)量流量控制器中的流量控制閥。

閥門開度可通過0-5V的外部信號進行調(diào)節(jié)。該控制閥配備壓電執(zhí)行器，可實現(xiàn)對氣體流量和壓力的高速控制。

SUS-316L 塊體和 Au 密封件可以調(diào)節(jié)腐蝕性氣體的流量。

特征

工作溫度 0-50℃

金屬密封件

選項

低壓差

液化氣兼容

使用示例

壓力控制閥

許多實驗和制造過程中都需要保持恒定的腔室壓力。通過將壓力表、PID控制器和CV-3000結(jié)合使用，可以實現(xiàn)壓力控制。

規(guī)格

溫度

最小壓差

最大壓差

最大流量

海豹

響應時間

0-50℃

50千帕

300千帕

10SLM

奧

0.5秒或更短

*所示規(guī)格為標準控制閥的規(guī)格。 可根據(jù)需求提供其他選項以修改此規(guī)格。

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