
日本KOKUSAN科庫森(國産遠(yuǎn)心機(jī))鈴田上海代理原廠半導(dǎo)體晶圓專用對向式甩干離心干燥設(shè)備,行業(yè)成熟量產(chǎn)機(jī)型,依靠離心力 + 潔凈氣流協(xié)同完成晶圓表面精密脫水干燥,適配半導(dǎo)體光刻、清洗后工序潔凈制程株式會(huì)社コクサン。SPD-180、H840SA、對向式離心干燥機(jī)、自轉(zhuǎn)式干燥機(jī)、晶圓清洗干燥設(shè)備
遠(yuǎn)心干燥機(jī) = 離心干燥機(jī)(日語直譯)
「遠(yuǎn)心乾燥機(jī)(えんしんかんそうき)」= 中文離心干燥機(jī)、晶圓甩干機(jī)、Spin Dryer,
KOKUSAN 科庫森兩款機(jī)型:
H840SA 對向式遠(yuǎn)心(離心)干燥機(jī)
SPD-180 自轉(zhuǎn)式遠(yuǎn)心(離心)干燥機(jī)
原理:高速旋轉(zhuǎn)靠離心力剝離工件表面水分,搭配 ULPA 潔凈風(fēng)除靜電,半導(dǎo)體晶圓濕法清洗后無水痕脫水專用。
KOKUSAN 科庫森 H840SA 對向式離心干燥機(jī),
KOKUSAN 科庫森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)(Spin Dryer)
KOKUSAN科庫6英寸硅片森雙花籃晶圓甩干機(jī)、KOKUSAN科庫6英寸硅片森雙花籃晶圓甩干機(jī)

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內(nèi)置螺旋絞龍 / 螺旋葉片,依靠螺旋推送物料前進(jìn),配合夾套導(dǎo)熱油 / 蒸汽加熱烘干,屬于傳導(dǎo)式加熱干燥,不靠離心力脫水。
常見類型:真空螺旋干燥機(jī)、臥螺沉降離心機(jī)(螺旋離心分離機(jī))、連續(xù)螺旋輸送烘干機(jī)。

| 項(xiàng)目 | 遠(yuǎn)心(離心)干燥機(jī)(科庫森 SPD-180/H840SA) | 螺旋干燥機(jī) |
|---|
| 脫水原理 | 離心力高速甩水,幾乎無加熱 | 螺旋推送 + 熱傳導(dǎo)烘干 |
| 適用產(chǎn)品 | 半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)玻璃、精密小件 | 粉體、污泥、顆粒、粘稠物料、化工料渣 |
| 潔凈等級 | Class100 高潔凈、無塵車間使用 | 工業(yè)粗放烘干,無超高潔凈要求 |
| 運(yùn)行方式 | 批次式、單 / 雙花籃晶圓處理 | 連續(xù)進(jìn)料出料、大批量物料烘干 |
| 代表機(jī)型 | KOKUSAN SPD-180、H840SA | 臥式螺旋卸料沉降離心機(jī)、空心槳葉螺旋干燥機(jī) |
※我們還有8英寸及以下的設(shè)備、手動(dòng)機(jī)、自動(dòng)機(jī)等產(chǎn)品。
在半導(dǎo)體以外的應(yīng)用中,也請隨時(shí)與我們咨詢。
電話咨詢:CHINA區(qū)域一級代理商鈴田科技(上海)有限公司
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