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日本 Luceo 半導(dǎo)體晶圓近紅外應(yīng)力檢測(cè)設(shè)備 日本 Luceo 半導(dǎo)體晶圓近紅外應(yīng)力檢測(cè)設(shè)備

廠商產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

品牌：日本 Luceo（株式會(huì)社ルケオ）

型號(hào)：LSM-9001NIR

產(chǎn)品名稱：近紅外全自動(dòng)應(yīng)力檢測(cè)儀

平臺(tái)分類：一級(jí) - 光學(xué)儀器及設(shè)備；二級(jí) - 偏光應(yīng)力檢測(cè)儀器；三級(jí) - 晶圓樹(shù)脂應(yīng)力測(cè)試儀

核心規(guī)格參數(shù)

表格

項(xiàng)目參數(shù)

檢測(cè)原理近紅外 NIR 回轉(zhuǎn)檢光子法

延遲評(píng)估范圍0~150nm

有效測(cè)量區(qū)域50×50mm

樣品最大高度160mm

整機(jī)外形尺寸W300×D353×H540mm

整機(jī)重量22kg

光源高亮度 LED，長(zhǎng)壽命低功耗

供電規(guī)格AC100-240V，DC24V 1.6A

配套系統(tǒng)主機(jī)、PC、連接線、機(jī)蓋，適配 Win10 64 位專業(yè)版

五大核心優(yōu)勢(shì)

全自動(dòng)無(wú)人工干預(yù)測(cè)量

放置樣品一鍵啟動(dòng)，內(nèi)置攝像頭自動(dòng)定位識(shí)別，消除人為操作判斷帶來(lái)的測(cè)量誤差，大幅提升檢測(cè)一致性。

可測(cè)有色不透光樣品

采用近紅外光路，突破傳統(tǒng)可見(jiàn)光應(yīng)力儀局限，可檢測(cè)有色亞克力、有色玻璃、半導(dǎo)體晶圓、含色素樹(shù)脂，同步檢測(cè)殘余應(yīng)力與微裂紋。

完整專業(yè)分析軟件套件

支持應(yīng)力二維分布圖、截面曲線、三維立體可視化，可導(dǎo)出 CSV 測(cè)量數(shù)據(jù)與原始圖像，便于批量數(shù)據(jù)歸檔與報(bào)告輸出。

長(zhǎng)壽命低維護(hù)光源

高亮度 LED 近紅外光源，使用壽命長(zhǎng)，減少光源更換頻次，降低長(zhǎng)期實(shí)驗(yàn)室運(yùn)維成本。

適配半導(dǎo)體與光學(xué)零部件

專為 50mm 以內(nèi)硅片、光學(xué)基板、注塑樹(shù)脂件設(shè)計(jì)，數(shù)分鐘完成全域面分布掃描，支持現(xiàn)場(chǎng)試樣演示評(píng)估。

適用實(shí)驗(yàn) / 工業(yè)場(chǎng)景

半導(dǎo)體行業(yè)：硅晶圓、光學(xué)晶片全域殘余應(yīng)力面分布檢測(cè)

光學(xué)材料：有色玻璃、濾光片、光學(xué)基板應(yīng)力檢測(cè)

塑膠行業(yè)：有色亞克力、樹(shù)脂注塑件內(nèi)應(yīng)力、裂紋篩查

精密光學(xué)零部件來(lái)料品質(zhì)管控、出廠應(yīng)力抽檢