proLINE極紫外EUV光源

· 寬波長，高光通量

· 寬帶輸出或單色波長輸出

· 高可靠性、長期穩定運行的 EUV 光源

· 緊湊型結構設計

德國 hp spectroscopy  proLINE 是一款基于等離子體的 EUV 光源，可在 1–20 nm 的多種波長范圍內提供較高光通量輸出。作為一款一站式系統，proLINE 使科研人員能夠更加專注于實驗研究本身。該光源還可搭配我們產品組合中的單色儀或診斷光譜儀使用。

proLINE 具有較高的靈活性，可提供兩個或更多輸出端口，支持同時連接至多條光束線進行實驗。此外，通過氣體選擇和單色儀設置，可實現快速且自動化的波長切換。

我們還可提供定制化版本，包括集成單色儀、聚焦單元以及實驗靶站配置等。proLINE 還可與 X 射線吸收光譜系統 proXAS 配套使用，構建多功能測試平臺。

proLINE極紫外EUV光源特點

基于等離子體的 EUV 光源

· 高光子通量

· 寬帶輸出或單色化輸出

· 豐富的波長選擇范圍

·  無電極結構設計，碎屑污染低

·  300  μm 光源尺寸，實現高亮度

使用方便

·  緊湊型結構設計

·  低使用成本（氣體流量消耗低）

·  高可靠性、長期穩定的EUV 光源

· 可選配集成診斷系統

應用

·  EUV 計量檢測

· 掩模缺陷檢測

· 光刻膠（Resist）研發

· EUV 顯微成像

· 水窗波段顯微成像