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是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業，主要經營以下產品：氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等；產品*，價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業，公司擁有專業的售后服務人員及檢測設備，為用戶長期提供各類設備的檢測、保養、維修服務。
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大腔體通用標準低溫泵 ULVAC 愛發科產品參數
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產業,石油,能源,電子/電池,電氣 |
大腔體通用標準低溫泵 ULVAC 愛發科詳細信息
大腔體通用標準低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U30H
大腔體通用標準低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U30H
設備規格參數詳情
CRYO-U22H 低溫泵采用一體化立式筒式整機結構，整機尺寸專為大型真空沉積設備、航天空間模擬艙、核聚變實驗裝置等超大容積腔體配套設計，吸氣口標配 UVG550 標準化大口徑真空法蘭，法蘭規格統一，可直接對接同規格真空管路腔體，無需額外定制轉接配件，同系列 U22 機型法蘭可互換，降低產線改造配套成本。內部搭載雙套 R50 高性能雙級 GM 制冷機芯，搭配雙通道獨立高精度溫度監測模組，可分別采集 80K 屏蔽筒與 15K 低溫吸附板實時溫度，完整直觀反饋兩套冷頭同步制冷工況，便于操作人員實時監控設備運行狀態，提前預判吸附飽和節點。配套兩臺原廠 C30VRT 分體式制冷壓縮機，柔性金屬連接管路適配廠房大范圍設備擺放間距，多泵并聯布局時管路排布靈活，不受產線層高、工位間距約束ULVAC SHOWCASE。整機適配通用工業供電標準，區分 50Hz、60Hz 兩種供電工況，內部電氣組件增設多層絕緣防護結構，運行功率長期維持平穩區間，不存在瞬時功率大幅波動現象。設備空載降溫至標準低溫區間時長標準化，50Hz 工況 150 分鐘、60Hz 工況 135 分鐘，單次再生流程支持手動、自動兩種操作模式，流程規范統一，再生耗時穩定可控。設備標準抽速參數均衡優異，氮氣 17000L/s、氫氣 25000L/s、氬氣 14000L/s、水汽 39000L/s，極限真空可達 10??Pa，氬氣最大耐受流量 4.1×103Pa?L/s，氬氣總存儲容量 8.1×10?Pa?L，氫氣存儲容量 8.5×10?Pa?L，可支撐超長時間不間斷真空作業。整機自重 125kg，外殼選用耐腐蝕金屬材質，適配潔凈量產車間與恒溫科研實驗室環境，出廠配備全套標準化固定安裝支撐配件，可選配套移動支撐底座簡化吊裝轉運，無需單獨采購輔助固定構件，多機組并聯運行可進一步提升超大腔體整體抽氣效率，適配多工位大型沉積設備配套使用。
核心結構與性能特點詳情
該款低溫泵以雙套兩段式 GM 閉環大功率制冷架構作為核心實現氣體冷凝吸附作業，設備內部設置分層兩級低溫吸附結構，一級 80K 屏蔽筒優先捕捉水汽、大分子雜質，依靠 39000L/s 超高水汽抽速快速清除腔體內部水汽殘留，減少腔體放氣帶來的真空度衰減，規避水汽對薄膜成型質量造成的干擾；二級 15K 低溫板搭配大容量專用活性炭吸附層，針對氮氣、氬氣、氫氣、水汽等全品類工藝氣體分層捕獲，整套抽氣流程全程不使用潤滑油脂，從根源杜絕油蒸汽返流污染真空腔體，滿足大尺寸晶圓、高世代顯示基板、航天實驗腔體對真空潔凈度的嚴苛標準。機型面向蒸鍍、濺射、刻蝕、空間環境模擬等全品類通用真空工藝優化換熱結構，雙冷頭同步制冷帶來更強熱負荷承載能力，可適配持續通入工藝氣體的連續量產工況與低氣體釋放量的長效科研實驗場景，氬氣耐受流量與氣體存儲容量同步提升，兼顧常規鍍膜與長時間真空模擬等多元制程，即便長時間持續釋放工藝氣體，也能穩定維持標準抽氣速率，有效拉長兩次再生操作的間隔時長，一萬六千小時標準維護周期大幅減少停機維護頻次，降低量產與實驗中斷帶來的損耗。機身在保留超大容量吸附倉的同時完成輕量化緊湊優化，摒棄傳統超大抽速低溫泵厚重笨重框架結構，整機自重控制在合理區間，可實現豎直、傾斜、倒置等多種非常規姿態安裝，不受真空腔體外形、腔體擺放高度與自動化產線布局約束。設備運行階段雙壓縮機產生的振動經由多層緩沖結構充分衰減，傳遞至泵體的振動幅度極低，整機運行噪音維持低位區間，不會干擾車間膜厚檢測、光學均勻度測量、高精度粒子探測儀器正常工作。雙通道溫控組件不間斷監測兩套冷頭溫度，溫度出現異常波動時可直觀反饋設備工況，方便操作人員實時掌握設備運行狀態。機身內部零部件采用模塊化規整排布，僅拆除外部防護護罩即可接觸全部核心組件，清潔、檢修整體操作步驟精簡，降低現場操作人員作業門檻，多泵并聯運行模式還可分攤單臺設備氣體負載，進一步延長整機長期使用壽命。
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