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高溫防副產物真空閥體 KITZ 北澤 IVBH 氣動閥

高溫防副產物真空閥體 KITZ 北澤 IVBH 氣動閥

（一）產品規格參數板塊

IVBH 氣動加熱真空隔離閥閥體基材采用 SUS304 不銹鋼一體切削成型，密封波紋管選用高韌性 SUS316L 不銹鋼拉伸制成，流通通徑覆蓋 25A、40A 主流工業真空規格，連接端口兼容 NW 卡箍法蘭、CF 超高真空法蘭、JIS VF/VG 法蘭多類標準化結構，可直接匹配真空腔體、分子泵、前驅體輸送管線配套元件。極限耐受絕對真空度可達 1×10??Pa，額定正向承壓上限 0.2MPa，內外加熱回路獨立控溫，外部加熱最高 150℃、波紋管內置加熱最高 180℃，配套 K 型熱電偶實現恒溫閉環管控，外部設備環境適用溫度區間 - 15℃至 100℃。氣動執行機構為雙作用 DA 驅動，氣源適配壓力 0.4 至 0.7MPa，基礎出廠配置常閉安全結構，可按需選配磁性接近開關、恒溫保護器、RS 狀態反饋模塊。所有閥體出廠完成氦質譜高精度檢漏、多級溶劑脫脂、高溫真空烘干工序，波紋管額定工況完整啟閉循環壽命可達百萬次，閥座密封采用低脫氣特種氟橡膠，適配惰性及輕度腐蝕高溫氣相介質長期輸送。

（二）雙回路加熱與波紋管材質結構板塊

IVBH 核心差異化設計為內外分離式雙路獨立加熱結構，除閥體外側包覆外部加熱組件外，波紋管內部集成可隨伸縮同步運動的螺旋加熱絲，閥門全開、全閉任意狀態下均可對介質接觸面均勻供熱，消除管壁、波紋管褶皺處低溫冷點，從源頭抑制氣相副產物冷凝附著堆積。閥體采用一體式無焊縫 L 型角式流道布局，無焊接縫隙藏污積塵，全部接觸真空介質零部件在萬級無塵車間完成精加工、脫脂除油、高溫真空烘干處理，內壁低粗糙度加工降低氣體吸附脫氣速率。隔斷單元采用全金屬波紋管密封結構，舍棄填料密封，波紋管將真空腔體與上部氣動活塞驅動區域隔離，杜絕壓差工況下微量介質外漏風險；閥體與氣動執行端增設隔熱過渡結構，阻隔高溫向活塞運動部件傳導，避免高溫損耗執行機構使用壽命。波紋管材質延展性優異，反復壓縮拉伸不易形變開裂，搭配耐溫低脫氣氟橡膠閥座，可長期穩定承受 180℃恒溫真空工況腐蝕。

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