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近年來，美辛輝的產品已經能夠為各個領域的客戶做出貢獻。有液晶，有機EL，電池相關，半導體和空間業務等各種應用。真空技術仍然是一個可以廣泛使用的領域。我們期待您繼續惠顧我們的產品。此外，牢記創始人平澤美奈子的公司座右銘，“讓我們保持交貨日期并擴大信任”，我們將繼續以可靠的技術和開發能力為客戶提供各種各樣的產品。
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真空釬焊MIYUKI 電動數字定點真空蝶閥產品參數
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
真空釬焊MIYUKI 電動數字定點真空蝶閥詳細信息
一、產品概述
BAZ 系列是美幸輝主打數字檔位定點開度控制的伺服型真空蝶閥，需搭配原廠MS-PC 定點控制器成套使用，支持 00~99 檔精準開度設定，專門用于真空腔體階梯破真空、微量進氣、精密穩壓、流量分段調節，憑借低發塵、超低泄漏、斷電保位特性，廣泛應用于高真空潔凈工藝場景。
特點
01. 具有優異排氣特性的門閥。
兼容02.80A~150A的直徑。
03. 帶有絕對傳感器的起源記憶。
04. 安裝姿勢向所有方向自由。
05. 開合時以超低噪聲運行。
06. 得益于不銹鋼磨料，低氣體排放。
真空釬焊MIYUKI 電動數字定點真空蝶閥 BAZ-I40
真空釬焊MIYUKI 電動數字定點真空蝶閥 BAZ-I40
規格
口徑80A ~ 150A
工作壓力范圍105 Pa ~ 10-6 Pa
泄漏量：
內部密封（閥門）1X10-10 Pa·M3/s 下文
外部
密封（軸）泄漏量1X10-10 Pa·M3/s 下文
氣體接觸材料SUS304
閥門密封氟橡膠O型圈
軸密封氟橡膠O型圈
耐熱溫度主單元溫度：150°C
馬達：40°C
停電時閥門的工作保持當前位置
二、核心技術參數
1. 真空密封性能
工作壓力范圍：常壓（10?Pa）~ 1×10??Pa（中高真空）
閥體內部泄漏：≤1×10?? Pa?m3/s
閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s，滿足高真空檢漏要求
2. 材質與耐溫
過流部件：閥體、蝶板 SUS304 不銹鋼
密封件：FKM 氟橡膠 O 型圈（可選全氟醚 FFKM）
使用溫度：閥體最高 150℃；伺服電機工作溫度≤40℃
適用介質：氮氣、氬氣、干燥工藝惰性氣體
3. 驅動核心優勢
伺服電機直驅無間隙結構，無齒輪背隙、無金屬滑動摩擦，潔凈低發塵、運行靜音，適配無塵車間
內置絕對式原點記憶傳感器，斷電重啟無需回零校準，閥位重復精度極-高
電磁斷電抱閘設計：突發停電自動鎖死當前閥門開度，防止腔體泄壓、工藝報廢
支持手動應急閥位調節，設備檢修安全可靠
三、MS-PC 定點控制器（標配）
控制方式
本地面板控制：二位撥碼設定 00（全關）~99（全開）檔位，按鍵執行閥位定位，自帶閥位狀態指示燈
PLC 遠程自動化控制：8 位二進制編碼遠程下發開度指令 + 無源觸點開關信號，可接入上位機批量工藝聯動控制
控制特點
開度調節線性穩定，微小節流狀態下腔體壓力無波動漂移
支持階梯式緩慢進氣，避免薄膜濺射、光學鍍膜時材料氧化產生針孔缺陷
五、典型應用領域
半導體：PVD/CVD、離子注入、刻蝕設備工藝穩壓、分段進氣
光學 / 裝飾真空鍍膜：磁控濺射、電子束蒸鍍階梯破真空控制
科研實驗室：表面分析儀器（XPS/AES）、氦檢設備、真空熱處理爐
新能源：鋰電池真空注液、真空釬焊、光伏鍍膜設備管路流量調節
六、同系列產品區分
BAZ 系列（數字定點）：00-99 檔位定點控制，搭配 MS-PC，適合分段工藝、固定開度工況
BAR 系列（模擬無級）：0-10V 連續線性調節，搭配 MS-VP，適合閉環動態精密穩壓場景
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內容聲明：
您訪問的真空釬焊MIYUKI 電動數字定點真空蝶閥產品信息，由北崎國際貿易（北京）有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于真空釬焊MIYUKI 電動數字定點真空蝶閥型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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