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詳細規格參數

1. 光學與激光核心參數

• 激光光斑最小直徑：≤φ2.5μm（50× 物鏡工況）

• 標配物鏡：5×/10×/20×/50× 長工作距離顯微物鏡

• 振動測試頻帶（配 LV-1800）：標準 0.3Hz~3MHz，選配拓展至 20MHz

• 激光安全等級：Class 3R

• 觀測系統：雙路 CMOS 相機，分辨率 1280×960，USB2.0 圖像輸出

• 照明：內置同軸落射 LED 環形光源，亮度可調

2. 對焦機械結構

• 升降總行程：30mm

• 粗調旋鈕：36mm / 轉；微調旋鈕：0.2mm / 轉

• 滑臺防護：防跌落鎖止機構，升降延長段 100mm

• 安裝方式：正裝立式、倒置式兩用

3. 底座與整機物理參數

• 底座材質：鋁合金 + 上磁鋼板，尺寸 310×300mm

• 整機外形尺寸：寬 410× 深 120mm

• 整機凈重：約 8.1kg

• 供電規格：AC100~240V 寬幅電源，整機功耗 60VA

• 冷卻：自然對流無振動風冷

4. 使用環境條件

• 工作溫度：0~40℃

• 工作濕度：30~80% RH，無凝露、無腐蝕性氣體

產品核心優勢

1. φ2.5μm 超小激光光斑，可精準測量芯片、壓電片上微米級微小測點，解決微型器件測點定位難題；

2. 雙視野同步觀測相機，大小畫面實時切換，快速對齊激光測點，留存試樣原始圖像便于數據溯源；

3. 0.3Hz~3MHz 寬頻覆蓋，兼顧低頻微振動與超聲高頻振子，一套設備適配多類微型元件；

4. 正裝 / 倒置兩用設計，薄試樣、凸起封裝芯片、底部觀測樣品均可靈活測試；

5. 重型磁吸鋁合金底座，牢牢固定各類治具，長時間測試無整機微小位移，數據重復性優異；

6. 同軸落射 LED 照明，深色、透明微型元器件成像清晰，無遮擋、無反光干擾測點識別；

7. 粗微調雙檔對焦，精準控制激光焦點高度，適配不同厚度封裝器件；

8. 3R 安全級激光光路搭配防護蓋，滿足實驗室長期高頻使用的激光安全規范。

適用場景

1. MEMS 微機電研發實驗室：微加速度計、微型執行器共振頻率、振動幅值定量測試；

2. 電子元器件質檢車間：壓電陶瓷、MLCC 微型電容、超聲振子微觀振動性能評價；

3. 半導體封裝實驗室：晶圓、微型 IC 芯片局部振動缺陷、共振模態分析；

4. 高校力學 / 微機電專業科研：微小結構頻響、共振、耐久對比試驗；

5. 醫療器械零部件檢測：微型流體閥、驅動振子微觀振動無損測試；

6. 生物微觀動態研究：昆蟲組織、微薄膜微弱振動非接觸觀測；

7. 第三方精密器件檢測機構：出具微米級微觀振動合規可溯源檢測報告。