Sens4智能皮拉尼真空計（VPM-7）

VPM-7智能皮拉尼真空計為半導體負載鎖定精密壓力控制和其他真空應用而設計，在這些應用中，相對于大氣環境壓力的精確壓力測量非常重要。

VPM-7提供了優秀的性能，具有比傳統負載鎖定傳感器和其他負載鎖定傳感器解決方案更寬的測量范圍、更高的精度、更快的測量周期。

智能皮拉尼ATM通過將導熱系數皮拉尼熱損失真空計的可用測量范圍擴展10至30年，建立了新的標準。

多傳感器一體式傳感器解決方案

VPM-7是一款真正的多傳感器真空計，具有四個壓力輸出：大氣環境傳感器、寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、絕對隔膜傳感器和相對于大氣壓的信號，所有這些傳感器共同作用，優化現代裝載鎖真空室中的精確壓力控制。隔膜傳感器提供2至1333mbar（1.5至1000Torr）的精確氣體無關絕對讀數。

裝載鎖是一種真空室，用于將半導體晶片等器件從環境氣壓裝載到真空處理室中。負載鎖通常在大氣壓和將晶片轉移到處理室所需的適當真空水平之間循環。裝載鎖內的精確壓力控制對于防止環境空氣和顆粒物污染至關重要，可以保護腔室和晶片。

數字接口

RS-232和RS-485串行接口便于將壓力和溫度測量數據傳輸到外部設備。

該數字接口支持診斷、預測性維護、維修、校準、設定點配置、模擬輸出縮放和真空壓力測量的實時采集，以實現屏幕可視化。

耐腐蝕傳感器

通常，裝載鎖裝置是干凈的，沒有腐蝕性氣體。然而，可選的耐腐蝕傳感器使VPM-7 SmartPirani™ATM能夠在存在侵蝕性化學物質或殘留蝕刻氣體的應用中使用。

陶瓷是一種高度耐腐蝕的材料，通常用于電容式隔膜計中的真空傳感器隔膜。

Sens4智能皮拉尼真空計（VPM-7）

特點：

l 超寬測量范圍

從1.0E-6到1333mbar

l 大氣開關

真空系統排氣壓力的精確控制

l 獨立于氣體的測量

隔膜傳感器2至1333mbar

l 負載鎖設計

負載鎖定壓力控制的一體化解決方案

應用與市場

VPM-7智能皮拉尼真空計專為先進真空過程的可靠測量和控制而設計，適用于負載鎖定系統的壓力控制。VPM-7配置有多種選擇，可滿足不同行業和應用的不同要求。

l 半導體

VPM-7能夠精確控制負載鎖定系統中的壓力。其他供應商傳統負載鎖定傳感器的插入式替換配置。

l PVD 涂層

VPM-7具有可維修的擋板保護，可在PVD涂層應用中使用并延長使用壽命。精確控制真空系統的排氣。

l 質譜儀

利用質譜儀儀器中VPM-7提供的低壓測量能力。

l 太空模擬

在模擬太空惡劣環境時測量真空氣體壓力。

l 電子顯微鏡

將真空測量和相對于環境壓力的測量與VPM-7 SmartPirani ATM相結合。

l 熔爐

在真空熱處理過程中測量和控制真空度。可選擋板和涂層保護，適用于工業應用。