日本三豐Mitutoyo 超高精度三坐標(biāo)測量機
基礎(chǔ)規(guī)格參數(shù)(主流 LEGEX 574)
型號:LEGEX 574(匠系列)
測量行程:X500 × Y700 × Z450 mm
長度測量最大允許誤差:MPE=(0.23+0.7L/1000) μm
位置分辨力:0.00001 mm(0.01μm)
導(dǎo)軌形式:三軸精密空氣軸承
驅(qū)動:伺服電機 + 浮動緩沖絲桿
基座材質(zhì):密封球墨鑄鐵(FEM 應(yīng)力優(yōu)化)
光柵尺:微晶玻璃近零膨脹線性編碼器
隔震:整機空氣阻尼彈簧自動調(diào)平隔震系統(tǒng)
標(biāo)配測頭:MPP-3100 五軸連續(xù)掃描測頭
可選測頭:SP80 EX 非接觸光學(xué)測頭、觸發(fā)式測頭
最大工作臺負載:250 kg
最大移動速度:200 mm/s;加速度 980 mm/s2
控制軟件:MCOSMOS 計量分析軟件
通訊接口:以太網(wǎng)、USB、MT Connect 工業(yè)協(xié)議
整機重量:約 3500 kg(不含控制柜、防震臺)
氣源需求:潔凈干燥壓縮空氣
使用環(huán)境:溫度 20±2℃,濕度 40~70% RH 無凝露
供電規(guī)格:寬電壓適配工業(yè)市電,適配各國車間供電標(biāo)準(zhǔn)
運行噪音:低噪伺服驅(qū)動,長時間連續(xù)檢測無明顯噪音干擾
適配工件類型:各類精密模具、半導(dǎo)體載具、航空結(jié)構(gòu)件、醫(yī)療植入件、標(biāo)準(zhǔn)量塊等軟硬材質(zhì)精密零部件
運行模式:全自動 CNC 編程檢測、單點手動測量、連續(xù)曲面掃描三種模式自由切換
日本三豐Mitutoyo 超高精度三坐標(biāo)測量機
核心功能特點
1. 固定橋式解耦結(jié)構(gòu),從根源消除運動耦合誤差
橋架與基座剛性一體固定,僅工作臺 XY 移動,X 軸運動不會改變 Y 軸受力負載,對比移動橋式大幅降低俯仰、偏航帶來的幾何誤差,動態(tài)測量穩(wěn)定性大幅提升。
2. 近零膨脹微晶玻璃光柵,溫變環(huán)境精度不偏移
光柵基材熱膨脹特性趨近穩(wěn)定,特殊安裝結(jié)構(gòu)能夠有效抑制數(shù)值滯后偏差,常規(guī)恒溫車間即可穩(wěn)定維持計量級測量水準(zhǔn)。
3. 雙層全域減震體系,車間振動不影響測量
底部空氣阻尼彈簧自動調(diào)平隔震;絲桿驅(qū)動采用浮動緩沖結(jié)構(gòu),隔離伺服電機加減速振動,無需專用高精度防震室也可穩(wěn)定使用。
4. MPP-3100 多功能掃描測頭,接觸式高速曲面采集
標(biāo)配低測力掃描測頭,輕薄、軟質(zhì)工件不易產(chǎn)生壓傷痕跡,可連續(xù)掃描采集曲面數(shù)據(jù);可升級光學(xué)非接觸測頭,適配微小半導(dǎo)體零件無損測量。
5. 全系列多行程覆蓋,小標(biāo)準(zhǔn)件至大型工裝通用
擁有多款不同行程機型,從小尺寸基準(zhǔn)量塊到大型航空結(jié)構(gòu)件均可適配,各類精密加工工件無需更換設(shè)備檢測。
6. MCOSMOS 全功能計量軟件,自動編程 + 溯源報表
智能程序分步引導(dǎo)完成檢測設(shè)置,自動判定各項公差;檢測記錄完整留存,可導(dǎo)出標(biāo)準(zhǔn)化報告,滿足各類行業(yè)品質(zhì)追溯審核要求。
7. 氣浮導(dǎo)軌 + 高速伺服,兼顧速度與重復(fù)精度
三軸空氣軸承導(dǎo)軌運行無機械摩擦損耗,伺服驅(qū)動兼顧移動速度與測量重復(fù)穩(wěn)定性,適合全天不間斷批量檢測工況。
8. 工業(yè)互聯(lián)通訊,對接智能工廠數(shù)字化系統(tǒng)
多類型通訊接口,可連接網(wǎng)絡(luò)打印機、上位機與廠區(qū)管理平臺,檢測數(shù)據(jù)實時同步歸檔,適配數(shù)字化工廠布局。
適用檢測場景
計量院 / 企業(yè)基準(zhǔn)實驗室 標(biāo)準(zhǔn)量塊、標(biāo)準(zhǔn)環(huán)規(guī)溯源校準(zhǔn)
作為車間最高精度基準(zhǔn)設(shè)備,完成卡尺、千分尺、治具量塊的定期比對校準(zhǔn),保障全廠量值統(tǒng)一可溯源。
光學(xué)模具、鏡頭模仁、精密注塑模具全尺寸檢測
模具型腔、曲面、微小孔高精度掃描,管控脫模斜度、輪廓度,穩(wěn)定鏡片、光學(xué)零件成型精度。
半導(dǎo)體 8/12 寸封裝載具、精密治具無損測量
搭配光學(xué)測頭,微小薄壁封裝件低測力檢測,避免接觸壓傷,管控載具平面度、定位孔尺寸。
航空航天渦輪葉片、精密結(jié)構(gòu)件批量形位檢測
葉片復(fù)雜曲面連續(xù)掃描,一次性采集輪廓、壁厚、角度數(shù)據(jù),滿足航空嚴(yán)苛公差標(biāo)準(zhǔn)。
醫(yī)療植入件(鈦合金股骨、骨釘)合規(guī)理化檢測
低測力測頭保護植入件表面,完整留存檢測報告,滿足醫(yī)療器械藥監(jiān)審核溯源要求。
新能源汽車渦旋盤、變速箱精密齒輪工裝質(zhì)檢
動力核心零部件批量全檢,管控跳動、齒形精度,降低整車運行噪音與損耗。
第三方檢測機構(gòu)委托樣品合規(guī)檢驗
一站式完成精密零部件全項尺寸檢測,標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)留存,出具合規(guī)理化檢測記錄。
高校精密工程實驗室科研試樣高精度分析
演示高精度尺寸檢測原理,開展不同結(jié)構(gòu)、材料工件對比課題實操。
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