日本 坂本 SEM 2 軸半導體設備平面校準儀器 日本 坂本 SEM 2 軸半導體設備平面校準儀器

1. 產品概述

SELN-001B 是坂本電氣推出分體有線式雙軸高精度數字水平儀，由小型測量傳感探頭與獨立顯示控制器有線連接；復刻傳統圓氣泡水平儀可視化界面，數字量化 X/Y 雙軸傾角，解決傳統氣泡水準儀視線受限、人工讀數誤差大、溫漂不穩定缺陷；探頭輕薄小巧，可伸入狹小夾層、晶圓載臺、機床底座等窄間隙工位，廣泛用于半導體設備、加工中心、汽車工裝精密平面調平。

2. 完整規格參數

傳感器探頭部分

表格

參數規格

測量線性范圍X±0.3°、Y±0.3°

測量分辨率0.0002°

零點重復精度≤±0.001°

響應速度≤50ms

工作溫度-10℃ ~ +50℃

顯示控制器本體

表格

參數規格

核心芯片32 位微控制器

AD 采集14 位高精度模數轉換

AD 理論分解能力0.000025°

屏幕顯示最小單位0.0001°

合格判定閾值自定義0.0001° 起步可調

量程多檔切換0.01° / 0.001° / 0.0001° 三檔

超量程提示傾角＞0.3° 自動 OVER 告警

3. 八大核心產品優勢

超高測量精度

X/Y 雙軸基礎精度 ±0.001deg（17.5μ/m），微米級平面度檢測，滿足精密設備校準需求。

分體有線結構，窄空間適配

探頭輕薄微型化，線纜分離設計，可伸入上下間距狹窄的設備夾層、晶圓腔內部，傳統氣泡水準儀無法觀測的位置均可測量。

可視化氣泡仿真界面

顯示屏模擬圓形氣泡水準器圖形，紅綠雙圈自定義合格區間，氣泡紅點落入綠圈顯示 Good，超差直接 NG 告警，直觀易懂。

消除人工讀數誤差

全數字化采集輸出，角度、毫米每米單位一鍵切換，無肉眼估讀偏差，數據可追溯。

穩定抗溫漂設計

對比傳統玻璃氣泡水準器，受溫度變化影響極小，長時間連續測量數值穩定。

實時同步監測

控制器與探頭有線實時傳輸，可遠距離手持顯示器，一邊觀測數值一邊調整設備支撐腳。

多檔位量程自由切換

0.01°/0.001°/0.0001° 三檔精度量程，兼顧粗調與微米級精調工序。

輕量化探頭

探頭自重低，適配晶圓載臺、精密治具等輕量化工件表面，不會壓傷精密加工面。

4. 核心應用行業

半導體制造設備：晶圓搬運腔、曝光機、檢測平臺、真空腔體平面度校準

工業數控裝備：龍門加工中心、磨床、精密機床底座水平校正

汽車制造：工裝夾具、檢測治具、車身焊接平臺傾角標定

5. 同品牌產品區分

SELN-001B：有線分體式，適合狹小封閉腔體、遠距離觀測場景；另有無線款同系列數字水平儀，適合無布線流水線工位。