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日本 SEM 坂本 工業(yè)半導(dǎo)體精密數(shù)顯水平儀 日本 SEM 坂本 工業(yè)半導(dǎo)體精密數(shù)顯水平儀

1. 產(chǎn)品概述

SELN-011B 是坂本電機面向半導(dǎo)體設(shè)備、精密機床、汽車工裝開發(fā)的超高精度分體式兩軸數(shù)字水平儀，分體有線結(jié)構(gòu)，微型傳感探頭可伸入上下間距狹窄、視線無法觀測的夾層、設(shè)備內(nèi)部；復(fù)刻傳統(tǒng)圓氣泡水平儀可視化界面，全數(shù)字化量化傾角，消除人工目視讀數(shù)誤差；搭載 SD 卡本地存儲、USB 實時數(shù)據(jù)輸出功能，量程多檔切換，新手也可快速完成高精度設(shè)備調(diào)平。

2. 六大核心產(chǎn)品優(yōu)勢

超高測量精度，微米級水準(zhǔn)

X/Y 雙軸零點重復(fù)精度≤±0.001°（17.5μ/m），最小顯示分辨率 0.0001°，滿足半導(dǎo)體、精密加工超平基準(zhǔn)校準(zhǔn)需求。

分體有線設(shè)計，狹小空間無障礙測量

傳感器與顯示主機分離，長線傳輸，夾層、設(shè)備內(nèi)部、高低受限狹窄工位均可伸入測量，傳統(tǒng)氣泡水平儀無法觀測的點位輕松檢測。

可視化氣泡模擬屏幕，上手零門檻

屏幕圖形復(fù)刻圓形氣泡水準(zhǔn)器，紅綠雙圈設(shè)定合格區(qū)間，紅點落入綠圈顯示 Good，超出顯示 NG，直觀判斷水平狀態(tài)，無需換算。

雙軸同步調(diào)節(jié)，大幅縮短調(diào)平工時

X、Y 兩軸數(shù)值同步實時顯示，可同時完成雙向水平校正，相比單軸儀器大幅縮減設(shè)備調(diào)試工時。

統(tǒng)一數(shù)字化基準(zhǔn)，消除人為讀數(shù)偏差

全數(shù)值量化輸出，不存在傳統(tǒng)氣泡儀因人觀測角度、溫度漂移產(chǎn)生的讀數(shù)差異，統(tǒng)一車間作業(yè)判定標(biāo)準(zhǔn)。

雙路數(shù)據(jù)存儲輸出，便于溯源記錄

支持 SD 卡本地保存角度數(shù)據(jù)；USB 接口實時向外輸出測量數(shù)據(jù)，可連接電腦實時采集、歸檔測試記錄。

3. 全套規(guī)格參數(shù)

傳感器性能

表格

參數(shù)項SELN-011B 參數(shù)

線性量程X/Y ±0.3°

零點重復(fù)精度≤±0.001°

測量分辨率0.0002°，顯示 0.0001°

響應(yīng)速度≤50ms

工作溫度-10℃ ~ +50℃

主機系統(tǒng)

主控：32 位微控制器，14 位 A/D 采集

A/D 分解精度：0.000025°

量程三檔切換：0.01° / 0.001° / 0.0001°

合格閾值自定義范圍：0.0001° 起設(shè)

超量程提示：＞0.3° 觸發(fā) OVER 告警

接口與存儲

本地存儲：SD 卡數(shù)據(jù)文件保存

實時輸出：USB 串口數(shù)據(jù)同步輸出至電腦

分體有線連接，傳感器與顯示主機分離布線

4. 工作原理

微型 MEMS 雙軸傳感探頭采集平面 X/Y 傾斜偏移量，經(jīng)高精度 14 位 AD 轉(zhuǎn)換、內(nèi)部算法降噪后，有線傳輸至顯示主機；屏幕同步展示圖形化氣泡模擬界面 + 精確角度數(shù)值，同時將測量數(shù)據(jù)緩存至機身，可 SD 卡導(dǎo)出或 USB 實時上傳電腦，實現(xiàn)精密設(shè)備水平量化校準(zhǔn)與數(shù)據(jù)留存。

5. 典型應(yīng)用行業(yè)

半導(dǎo)體制造裝備：晶圓搬運平臺、光刻機、檢測設(shè)備高精度基準(zhǔn)調(diào)平

精密工業(yè)裝備：龍門加工中心、三坐標(biāo)、精密機床工作臺水平校準(zhǔn)

汽車研發(fā)制造：工裝夾具、檢測臺、整車裝配平臺水平調(diào)試

精密實驗室設(shè)備：光學(xué)平臺、測試治具、高精度儀器基準(zhǔn)標(biāo)定