中圖儀器SJ6000激光干涉儀

一、激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有高精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。

二、產品功能特點

(1)精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。

采用激光雙縱模熱穩頻技術。可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；

采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；

干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

(2)功能廣

1. 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2. 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3. 可實現對機床回轉軸的測量與校準；

4. 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

5. 具有動態測量與分析功能，含位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌動態特性分析、驅動系統響應特性分析等；

6. 支持手動或自動進行環境補償。

(3)軟件強

1. 友好的人機界面；

2. 豐富的應用功能模塊；

3. 向導式的操作流程；

4. 簡潔化的記錄管理；

5. 支持中文、英文和俄文界面；

6. 支持企業專屬模板定制。

(4)標準多

內置13份標準，包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。

• GB/T 17421.2-2000 中國國家標準

• GB 10931-1989 中國國家標準

• ISO 230-2-1997 1997版國際標準

• ISO 230-2-2006 2006版國際標準

• ISO 230-2-2014 2014版國際標準

• ASME B5.54-2005 美國國家標準

• ASME B89.1.12M-1990 美國機械工程師協會標準

• NMTBA-1997 美國機床協會標準

• BS 3800-2-1991 英國機床標準

• BS 4656-16-1985 英國機床標準

• JIS B6330 日本國家標準

• VDI 3441 德國機床標準

• JJG 117-2005 平板檢定規程

(5)技術指標

主機

穩頻精度：0.05ppm

動態采集頻率：50 kHz

預熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環境濕度：(0~95)%RH

環境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量速度：4m/s

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M測距離，單位：m)

測量分辨力：0.01″

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R顯示值，單位：μm；M距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

自動精密轉臺

型號：WR50

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.01″

轉速：＜5°時軸旋轉無限制；＞5°時軸旋轉10rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發盒

信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號

輸出形式：10μs脈沖

觸發延時：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標準配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

安全要求

激光的安全等級達到Class I要求

(6)配件與證書

注意事項：

1. 平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

2. 平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

3. 短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

4. 長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

5. 直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

(7)證書

(8)激光干涉儀維護說明

1. 儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座以防導軌變形。 　

2. 光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和混合液輕拭。

3. 傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。

4. 使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。

5. 導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。

6. 經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。