MIYUKI控制蝶閥 BAR-150-S

MIYUKI控制蝶閥 BAR-150-S

一、產品概述

三幸株式會社（MIYUKI Co., Ltd.）推出的 BAR-050-S 控制蝶閥，是 BAR 系列標準型代表規格。型號 BAR-050-S 口徑為 50A，采用帶閥門密封功能的標準型設計，適用于半導體制造、真空鍍膜等需要精確控制真空壓力且要求切斷流路的工藝場景。

二、產品規格

三、核心設計特征

1. 標準型帶閥門密封功能
BAR-050-S 為標準型，具備閥門密封功能，內部泄漏量 ≤ 1×10?? Pa·m3/s，可在需要切斷流路的真空工藝中可靠關斷。

2. 低顆粒產生
取消了金屬滑動部件，有效減少了閥門動作過程中顆粒物的產生，適用于對潔凈度要求較高的真空工藝。

3. 低噪音運行
開啟、關閉及控制操作噪音極低，適合在潔凈室等對噪音有要求的場所使用。

4. 小開度壓力穩定性
在小開度條件下仍能保持穩定的壓力控制，適用于需要精細調節的真空工藝。

5. 無反向間隙（電機直接驅動）
電機直接驅動閥板，無需齒輪或傳動機構，消除了反向間隙（反沖），提高了位置控制精度。

6. 優良的密封性能

• 內部密封（閥體）：1 × 10?? Pa·m3/s 以下

• 外部密封（軸部）：1 × 10?1? Pa·m3/s 以下

四、選型參考（BAR系列口徑選項）

五、典型應用場景

六、選型要點

• 確認所需口徑（25A ～ 250A）

• 確認是否需要閥門密封功能（標準型或泄漏型）

• 確認工作壓力范圍（10? Pa ～ 10?? Pa）

• 確認真空計與控制器的信號兼容性

• 確認是否需要防斷電功能

• 確認安裝空間是否適配閥門尺寸

七、總結

三幸 BAR-050-S 控制蝶閥通過標準型帶密封設計、低顆粒產生、低噪音運行及無反向間隙的電機直接驅動方式，為半導體制造、真空鍍膜等行業提供了一種高可靠性的真空壓力控制解決方案。其 50A 口徑、10? Pa 至 10?? Pa 的工作壓力范圍及優良的密封性能，適用于需要精確控制真空壓力的多種工藝場景。