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亞臺富士（Fuji）由日本富士電機(jī)集團(tuán)（FujiElectricGroup）于1997年投資創(chuàng)立，初期為日商獨(dú)資，2010年調(diào)整為臺日合資模式，專注于鼓風(fēng)機(jī)與切削液泵的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
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FUJI富士超級計(jì)量泵-標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格產(chǎn)品參數(shù)
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FUJI富士超級計(jì)量泵-標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格詳細(xì)信息
FUJI富士超級計(jì)量泵-標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
是富士原廠自研三柱塞無脈動精密定量輸送設(shè)備，適配光刻膠、電解液、反應(yīng)試劑、功能漿料各類高精度流體定量制程，采用六段凸輪三聯(lián)柱塞驅(qū)動與機(jī)械強(qiáng)制回程架構(gòu)，支持高壓穩(wěn)定供液、全程無脈動輸送、微米級精準(zhǔn)計(jì)量成型，可適配微量配比、連續(xù)流合成、精密涂布、微量加注的標(biāo)準(zhǔn)化加工，流量輸出線性穩(wěn)定、配比成型一致性佳、制程重復(fù)精度優(yōu)異，是半導(dǎo)體、鋰電、精細(xì)化工量產(chǎn)制程中標(biāo)準(zhǔn)化流體
FUJI富士超級計(jì)量泵-標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
一、全流量梯度系列架構(gòu)，覆蓋研發(fā)到量產(chǎn)全工況
設(shè)備劃分 HYM 微量實(shí)驗(yàn)室級、HYSA 中小流量工藝級、HYSD 大流量工業(yè)級三大標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)型，相較于傳統(tǒng)單規(guī)格計(jì)量泵設(shè)備，可適配微量打樣、中試驗(yàn)證、大批量量產(chǎn)全流程運(yùn)行需求，覆蓋 15.3mL/min~117.8L/min 完整流量區(qū)間。設(shè)備搭載專屬柱塞規(guī)格匹配系統(tǒng)，可根據(jù)介質(zhì)粘度、輸送壓力靈活切換柱塞尺寸，改善高粘度漿料吸空、低流量配比偏移、高壓管路流量衰減等常見問題，適配各行業(yè)不同產(chǎn)能節(jié)奏的連續(xù)流體輸送需求。
二、六段凸輪三聯(lián)柱塞系統(tǒng)，低脈動連續(xù)輸送
搭載富士成熟分段式三重凸輪驅(qū)動機(jī)構(gòu)與時(shí)序交錯柱塞結(jié)構(gòu)，具備穩(wěn)定流量疊加區(qū)間，可適配管路壓力波動、介質(zhì)粘度變化等復(fù)雜工況。流體輸送脈動值控制≤0.5%，無需外置緩沖罐即可平穩(wěn)供液，可滿足微量配比、薄膜均勻涂布、高壓連續(xù)反應(yīng)工藝使用需求，流體輸出平穩(wěn)、氣泡抑制效果良好，配比、膜厚成型規(guī)整統(tǒng)一。全域流量線性表現(xiàn)均衡，可降低脈動沖擊帶來的涂層厚薄不均、反應(yīng)配比偏差、產(chǎn)品良率波動等問題，保障批次加工品質(zhì)穩(wěn)定可控。
三、機(jī)械強(qiáng)制回程柱塞結(jié)構(gòu)，適配高粘度介質(zhì)穩(wěn)定輸送
內(nèi)置一體化凸輪跟隨式柱塞回程機(jī)構(gòu)，無需依賴介質(zhì)背壓完成柱塞復(fù)位，適配低液位、易揮發(fā)、高粘度、微量含固漿料工況。可有效規(guī)避連續(xù)輸送過程中容易出現(xiàn)的吸料不足、流量衰減、氣蝕等現(xiàn)象，保障高低粘度介質(zhì)全程穩(wěn)定吸入排出，減少因進(jìn)料異常引發(fā)的計(jì)量偏差問題，適配光刻膠、導(dǎo)電漿料、高粘度樹脂等精密流體高壓輸送場景。
四、多材質(zhì)模塊化泵頭方案，適配高純無離子污染制程
泵頭采用快拆模塊化設(shè)計(jì)，可靈活切換多類接液材質(zhì)適配不同介質(zhì)工況：標(biāo)準(zhǔn) SUS316L 不銹鋼適配通用化工試劑；哈氏合金、鈦合金適配強(qiáng)酸、含氯強(qiáng)腐蝕介質(zhì)；PEEK/PTFE 全無金屬泵頭適配半導(dǎo)體、鋰電、醫(yī)藥高純工況，有效規(guī)避金屬離子析出污染問題。模塊化拆裝結(jié)構(gòu)無明顯介質(zhì)滯留死角，換料清洗便捷，潔凈介質(zhì)適配方案可減少雜質(zhì)二次污染，適配精密電子、醫(yī)藥活性物料的高品質(zhì)加工要求。
五、寬域介質(zhì)與工況適配，兼容多類流體物料
設(shè)備壓力、溫度、粘度適配區(qū)間寬泛，介質(zhì)粘度適配 1~20000mPa?s，標(biāo)準(zhǔn)介質(zhì)溫度覆蓋 -30℃~120℃，選配恒溫夾套可拓展至 200℃高溫工況，可按需選配98MPa高壓規(guī)格。可兼容光刻膠、電解液、催化試劑、樹脂、乳化液、微量漿料等多類感光、腐蝕、厭氧流體，覆蓋微通道連續(xù)反應(yīng)、狹縫涂布、微量藥劑加注、高壓均質(zhì)、擠出助劑配比等多種制程場景，既能滿足實(shí)驗(yàn)室新材料配方研發(fā)打樣需求，也可適配產(chǎn)線常態(tài)化連續(xù)量產(chǎn)作業(yè)。
六、伺服閉環(huán)流量輸出，參數(shù)可調(diào)可追溯
搭載富士原廠伺服閉環(huán)驅(qū)動電機(jī)，流量與轉(zhuǎn)速保持穩(wěn)定線性對應(yīng)關(guān)系，長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行流量波動幅度小，可維持平穩(wěn)的定量輸送基準(zhǔn)。設(shè)備支持轉(zhuǎn)速、流量、壓力參數(shù)無級調(diào)節(jié)，可根據(jù)不同介質(zhì)粘度、膠層厚度、工藝壓力匹配適配制程參數(shù)，搭配標(biāo)準(zhǔn)化流量壓力檢測體系，工藝運(yùn)行數(shù)據(jù)可留存、可追溯，便于產(chǎn)線日常點(diǎn)檢與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)化管控。
七、一體化集成自動化結(jié)構(gòu)，適配產(chǎn)線全線聯(lián)動對接
整機(jī)采用集成式自動化機(jī)身布局，伺服驅(qū)動、流量調(diào)控、壓力保護(hù)、溫控模塊協(xié)同聯(lián)動，工序銜接順暢，有效減少人工干預(yù)。設(shè)備運(yùn)行震動幅度小、啟停流量沖擊平緩，長時(shí)間連續(xù)作業(yè)計(jì)量精度衰減幅度低，運(yùn)行故障率低、維保便捷；便攜式 P 型機(jī)型支持多工位移動輪換，標(biāo)準(zhǔn)落地機(jī)型可與前后道涂覆、反應(yīng)、涂布設(shè)備聯(lián)動組網(wǎng)，適配車間晝夜不間斷量產(chǎn)工況。
八、行業(yè)適配優(yōu)勢，精密流體制程匹配度好
廣泛適配半導(dǎo)體晶圓光刻膠輸送、鋰電池電解液配比、FPC 柔性薄膜涂布、精細(xì)化工高壓連續(xù)流合成、制藥 API 微量進(jìn)樣、光學(xué)薄膜助劑加注、高校新材料研發(fā)等領(lǐng)域的精密定量輸送制程。依托原廠成熟凸輪流體控制與高壓密封技術(shù)，設(shè)備介質(zhì)兼容性、計(jì)量穩(wěn)定性、連續(xù)運(yùn)行耐久度表現(xiàn)良好，可滿足高精度流體行業(yè)連續(xù)化、標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)需求，是微納精密化工量產(chǎn)適配性較強(qiáng)的主流配套計(jì)量輸送設(shè)備。
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