FST-MDF02 高精度手動二維材料轉移系統

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一、產品主標題

二、產品簡介

三、整機模塊化結構說明

1. 五維精密手動微調轉移單元

   XYZ 三軸直線微分微調 + XY 雙向俯仰 + Z 軸 360° 旋轉，五軸獨立微分頭調節，最小進給 1μm，螺桿傳動無回程間隙，人工手動完成薄膜精準對位，適配多變量探索性科研實驗。

2. PID 恒溫真空吸附載物臺

   多孔陶瓷真空吸附臺面，室溫～200℃寬溫連續控溫，控溫穩定精度 ±0.1℃，支持高溫干法剝離、多段階梯退火工藝；負壓分段可調，適配硅片、石英、PDMS、柔性襯底等各類基底。

3. 三目金相顯微觀測單元

   三目鏡筒搭配高清工業相機與監視器，同軸冷光源，100~900 倍連續變倍放大，實時可視化觀測單層二維薄膜邊界、剝離、貼合全過程，精準識別微米級薄膜形貌缺陷。

4. 消音真空吸附氣控單元

   無油低噪隔膜真空泵，負壓 0~-90KPa 連續可調，可自由切換干法、濕法轉移工藝，輕柔吸附超薄單層材料，避免薄膜撕裂、褶皺、滑移。

5. 阻尼隔振光學支撐底座

   一體化鑄鐵阻尼隔振平臺，內置高效阻尼夾層，隔絕人員走動、空調、周邊設備帶來的低頻振動，長時間手動堆疊樣品無偏移漂移，保障對位精度。

四、核心技術參數總表

五、產品核心優勢

1. 緊湊型桌面機身，節省實驗室臺面空間

2. 五維微米級手動微分調節，操作靈活零學習成本

3. 干濕法雙工藝通用，覆蓋全部二維薄膜制備需求

4. 一體化精密溫控退火模塊，適配多元薄膜工藝

5. 高清可視化顯微觀測，大幅降低樣品報廢率

6. 標配阻尼隔振底座，抑制環境振動干擾

7. 高性價比低維護，適配高校預算采購

8. 模塊化拓展設計，后期可升級全套表征系統

六、典型應用領域

1. 二維范德華異質結科研制備

   石墨烯 /hBN 垂直堆疊、多層 TMDs 異質結構、磁性二維材料、鈣鈦礦復合薄膜樣品制備；

2. 低維光電器件研發

   二維場效應晶體管、光電探測器、柔性憶阻器、微納發光器件、傳感芯片樣品制備；

3. 薄膜光學與輸運特性表征

   大面積薄膜 PL、拉曼掃描測試、載流子輸運機理、界面光電效應課題研究；

4. 高校教學與基礎科研

   材料、物理、微電子專業本科教學演示、碩士博士課題標準化樣品制備；

5. 企業小型研發實驗室

   柔性電子、新型半導體、光傳感材料小批量樣品試制與工藝摸索。

七、標準出廠全套配置清單

1. FST-MDF02 緊湊型手動二維轉移主機（含阻尼隔振光學底座）

2. 五維精密微分手動微調轉移模組

3. 室溫～200℃ PID 真空吸附陶瓷溫控載物臺

4. 三目金相顯微鏡 + 高清工業成像相機 + 液晶監視器

5. 無油消音真空泵、全套真空管路與負壓調節閥

6. 標準 PDMS 襯底、玻璃載片、樣品固定夾具全套耗材

7. 整機電源線、信號傳輸線、操作手冊、配套調節工具包

八、可選拓展選配模塊

1. 原位電學探針測試模組：堆疊完成后 IV、光電響應原位測試

2. 密閉高真空腔體模組：隔絕水汽氧化，適配黑磷、鈣鈦礦等易氧化材料

3. 大面積 LED 太陽光模擬器、多波長單色 LED 光源

4. 氣浮隔振平臺升級套件、手套箱內置適配改造組件

5. 電動伺服升級套件，可將手動款改造為全自動程控轉移系統

九、質保與配套技術服務

1. 質保政策：整機標準質保 1 年，微分微調滑軌、溫控加熱組件、真空傳感器核心部件 2 年質保；

2. 技術支持：免費提供設備操作手冊、全套二維材料干濕法轉移標準工藝方案、遠程操作指導；

3. 定制服務：支持臺面尺寸、溫控區間、位移行程、拓展接口非標定制；

4. 交付周期：標準機型 7 個工作日發貨，帶多套選配模塊定制機型 15~20 個工作日交付；

5. 增值服務：工程師上門裝機調試、設備精度校準、課題組人員實操培訓、長期工藝技術咨詢。