Teledyne-HI 單通道流量壓力顯示控制器

基礎核心參數

1. 整機型號：THCD-101 單通道流體顯示控制器（Teledyne-Hastings）

2. 采集精度：±(0.02% 讀數 + 0.01% 滿量程)

3. 模數轉換：16 位高精度 AD 采集

4. 內置供電：穩定 ±15VDC、+24VDC 輸出，驅動 MFC / 真空規

5. 顯示配置：OLED 五位數顯，多單位一鍵切換

6. 報警輸出：兩路獨立可編程繼電器（30VDC/2A 觸點容量）

7. 通訊接口：USB-C、以太網（內置網頁服務）、0–10V 模擬輸出

8. 設定輸入：前面板手動設定 0–10V 控制點信號

9. 工作溫區：-10℃～50℃全溫區溫度補償

10. 安裝方式：臺式擺放、標準機架嵌入式安裝

11. 適配探頭：質量流量控制器 MFC、質量流量計、電容真空規、線性壓力變送器

12. 運行環境：潔凈實驗室、半導體鍍膜真空機房，低粉塵無強腐蝕溶劑工況

13. 適配功能：薄膜沉積氣體流量精準管控、真空腔體壓力實時監測、半導體工藝氣路閉環控制、真空檢漏數據記錄、氣體配比制程參數監控、科研實驗流體信號采集、自動化真空設備聯動控制

Teledyne-HI 單通道流量壓力顯示控制器

核心功能特點

1. 供電顯示控制三合一，無需額外搭配電源、二次數顯儀表，簡化機柜布線

2. 高分辨率采集模塊，微小流量、真空壓力波動均可精準捕捉，讀數重復性優異

3. 以太網內置網頁服務器，無需安裝專用軟件，瀏覽器遠程讀取、修改工藝參數

4. 雙路獨立繼電器告警，可聯動聲光報警器、設備停機回路，超差自動切斷氣路

5. 寬溫全程溫度補償，高低溫真空機房測量數值無漂移，長期連續運行穩定

6. 五位數顯 OLED 大屏，昏暗機柜內部、潔凈室弱光環境讀數清晰直觀

7. 雙通訊通道并行使用，電腦批量存數據同時 PLC 完成產線自動化聯動

8. 臺式 / 機架兩用結構，實驗室打樣、量產真空機柜均可快速裝配改造

9. 自帶峰值谷值存儲、一鍵清零校準，現場快速校正基線，降低人工操作誤差

10. 原廠配套上位機軟件，批量導出時序報表，數據具備完整溯源資質

適用場景

1. 半導體薄膜沉積車間，PVD/CVD 腔體工藝氣體 MFC 流量閉環監控

2. 光伏鍍膜真空工位，腔體內真空度、載氣流量全程實時記錄管控

3. 科研材料實驗室，等離子沉積、濺射實驗氣體配比標準化測控采集

4. 真空檢漏產線，腔體壓力梯度數據記錄，定位漏點異常工況

5. 特種氣體配比廠區，多路工藝氣單通道獨立精準流量調節監測

6. 第三方真空工藝配套產線，標準化流體測控設備，完整留存可溯源運行記錄

7. 高校微電子、真空物理實驗室，薄膜制備課題統一測控基準保障數據可復現

8. 光學鍍膜加工廠區，多層膜沉積過程真空壓力、工藝氣流量穩定管控