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日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計產品參數
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計詳細信息
日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計 日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計
1. 產品概述
XF-100 系列為 HORIBA 推出數字式液體質量流量計，包含 XF-102、XF-104 子型號，主打高速動態流量監測。
產品依托差壓傳感測量方案，區別于傳統熱式液體流量計，響應速度大幅提升，適合流量頻繁波動的微量藥液輸送場景；設備本身僅具備流量測量功能，可外接壓電調節閥組建完整流量控制系統，適配各類半導體薄膜沉積、精密濕法制程。
2. 工作原理
傳感器采集流道兩端壓差信號，結合流體特性換算得到液體質量流量；無加熱元件，避免熱敏液體受熱變質、汽化起泡問題，可穩定監測易揮發、熱敏化學原料。
3. 核心功能亮點
? 差壓式高速響應測量
原生響應 100ms；配套壓電閥組成控制系統，整體調節響應＜0.8s，適合動態工藝。
? 優異測量精度
測量精度 ±0.8% 滿量程，保障微量液體配比重復性。
? 超潔凈本體設計
內部流道拋光處理，降低微粒產生，匹配半導體高純化學品輸送標準。
? 無熱源測量結構
不存在元件加熱，規避低沸點液體沸騰、前驅體熱分解風險。
? 標準化 VCR 高純接口
1/8"、1/4" VCR 接頭可選，便于集成到現有高純流體管路。
? 緊湊小型化機身
XF-102/104 外形尺寸統一，節省設備端安裝空間。
4. 型號區分
XF-102 Series：對應 1/8 VCR 接口配置
XF-104 Series：對應 1/4 VCR 接口配置
5. 典型應用場景
ALD、CVD 設備液態前驅體供給流量監測
半導體濕法清洗、顯影、蝕刻微量藥液輸送
化合物半導體、功率器件化學品定量輸送
優良封裝、光伏薄膜工藝液體源流量監控
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內容聲明：
您訪問的日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計產品信息，由深圳秋山工業設備有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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