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產品簡介

| 殘余氣體分析儀探測器類型 | 標準法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM) |
| 分辨率 | 優于0.5amu |
| 靈敏度(A/Torr) | 2 × 10−4 (FC), <200 (EM) |
| 探測極限 | 5 × 10−11 Torr (FC), 5 × 10−14 Torr (EM) |
| 測試范圍 | 10−4 Torr to UHV (FC) 10−6 Torr to UHV (EM) |
| 操作溫度 | 70℃ (max.) |
| 工作溫度 | 300℃ (without ECU) |
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移動站:RGA100殘余氣體分析儀
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