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供應現貨！日本ULVAC愛發科干式真空泵 

供應現貨！日本ULVAC愛發科干式真空泵 

NRL60A、NRL90A、NRL180A

日本ULVAC愛發科（株式會社ULVAC）推出的NRL60A是一款高性能干式真空泵，屬于NRL系列中的基礎型號。其核心優勢在于低溫均熱化技術與優異的耐腐蝕性。通過低溫領域下的均熱化設計，該泵在排氣過程中能有效控制泵體溫度分布，尤其適用于對溫度敏感的重要工藝腔體排氣。標準零部件采用高硬度并經過防腐蝕特殊表面處理，能有效降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度，顯著延長了在CVD、刻蝕等活性氣體環境下的使用壽命。同時，該泵具備低噪音、低振動的運行特性，并支持選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器等組件，以滿足不同工藝的監控需求。

以下是NRL60A的主要技術參數：

參數項規格指標

抽速（50/60 Hz）70 / 84 L/min（1,167 / 1,400 L/min）

極限壓力5 Pa（氮氣密封流量5.0 SLM時）

電機功率2.2 kW

使用油BARRIERTA J100（E）/ FOMBLIN YL-VAC 25/6

所需油量（大氣側/真空側）0.5 / 0.3 L

冷卻水流量5 L/min

氮氣流量5 SLM

重量128 kg

吸氣/排氣口徑VG50 / NW40

總結：NRL60A集耐腐蝕性、低溫均熱化、低噪音低振動等特性于一身，是CVD、刻蝕、濺射鍍膜、熱處理、液晶注入、Si單晶爐排氣以及作為渦輪分子泵和羅茨泵前級泵的理想選擇，尤其適合對排氣潔凈度和泵體耐腐蝕性有嚴格要求的半導體及真空鍍膜工藝場景。

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