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HAMAMATSU，日本濱松光子學株式會社（簡稱濱松公司），成立于1953年，是具有高科技水平、高*的光科學、光產業公司。濱松集團的光電產品被廣泛的應用在醫療生物、高能物理、宇宙探測、精密分析、工業計測、民用消費等領域，其中濱松的光電倍增管、光電半導體產品曾三次助瀾諾貝爾物理學獎的誕生，為中微子、希格斯波色子的探測做出重要貢獻。
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日本進口HAMAMATSU/濱松薄膜膜厚測量系統詳細信息
日本進口HAMAMATSU/濱松薄膜膜厚測量系統
采用光譜 / 激光干涉光學檢測，非接觸、無損傷精準測量透明 / 半透明薄膜涂層厚度，用于產線在線監控、實驗室質檢，管控涂層均勻度，避免膜厚超標導致產品不良。
Optical MicroGauge膜厚測量系統C11011是一種利用激光干涉法的薄膜膜厚測量系統。可在60 Hz時進行高速測量，因此也可用于工廠內的線陣測量。與可選的映射系統結合使用，以便進行原型厚度分布測量。它可用于從監控制造過程到質量控制的各種用途。
特點：
非透明（白色）樣品的紅外光測量
60 Hz高速測量
測量帶有圖案或保護膜的晶圓
長工作距離
映射功能（可選）
提供外部控制
詳細參數：
尺寸：
日本進口HAMAMATSU/濱松薄膜膜厚測量系統
一、產品定位
屬于Optical MicroGauge 微米級紅外激光干涉膜厚儀，和測納米超薄涂層的 NanoGauge（C13027/C15151）區分開；專門測25μm~2.9mm 厚透明 / 半透明 / 白色不透光厚膜，主打卷對卷涂布產線在線高速監測、半導體保護膜、鋰電基材厚涂層、光學板材，非接觸無損檢測。
二、測量原理
1300nm 紅外激光干涉法（光譜干涉）紅外光射入薄膜，膜層上下界面產生反射光干涉，解析干涉光譜波形換算厚度；紅外光源優勢：白色、高散射、半不透明白色陶瓷涂層、隔膜基材、光刻厚膠均可測量，可見光設備無法測這類高散射樣品。
三、核心型號區分（4 款主流機型）
| 型號 | 玻璃量程 | 硅片量程 | 最大可測層數 | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| C11011-01/02 | 25μm～2.2mm | 10μm～0.9mm | 單層 | 基礎離線 / 簡易在線，單層厚膜 |
| C11011-01W/02W | 25μm～2.9mm | 10μm～1.2mm | 單層 | 寬量程，厚基材 / 厚保護膜 |
| C11011-21/22 | 25μm～2.2mm | 10μm～0.9mm | 最多 10 層 | 多層復合膜（隔膜 + 陶瓷涂層、多層膠） |
| C11011-21W/22W | 25μm～2.9mm | 10μm～1.2mm | 最多 10 層 | 多層 + 超寬量程，鋰電涂覆產線 |
四、關鍵硬件參數（通用）
測量速度：60Hz（單點 22.2ms），高速適配高速卷膜產線
精度
厚度＜500μm：±0.5μm
厚度＞500μm：±0.1% 讀數
重復精度：硅基底 100nm、玻璃 250nm
光學探頭
光斑 φ60μm，微小測點適合窄幅薄膜邊部檢測
工作距離 WD=155mm，遠距離不干涉產線機械結構
光纖線纜 4m，主機可遠離潔凈涂布區
整機尺寸：412×383×123.5mm，凈重約 8.5kg，功耗 50W
通信接口：RS232C、USB、PLC 外部 I/O，可直連涂布機、PLC 實現超差報警、聯動調速
光源：1300nm 紅外 LED，壽命長、抗粉塵、適配 24h 量產車間
五、核心五大優勢
兼容白色不透光樣品
紅外光源可測陶瓷涂覆隔膜、白色光刻厚膠、填充保護膜、啞光基材，普通白光膜厚儀會被散射光干擾無法讀數。
高速在線量產適配
60Hz 高頻采樣，卷對卷高速涂布、分切、復卷全程實時連續監控，實時輸出厚度曲線。
長工作距離測頭
155mm 大工作距，避開涂布輥、導輥、烘箱高溫區域，不占用產線空間。
多層膜解析（22W/21W 型號）
最多解析 10 層復合薄膜，同時讀出基材厚度 + 表面涂層厚度，適配鋰電隔膜陶瓷涂層、多層光學復合膜。
Mapping 全域掃描選配
搭配電動位移臺可掃描整張樣品，輸出二維厚度分布云圖，快速定位涂布厚薄不均、條紋、斑點缺陷。
六、典型應用行業（重點適配鋰電隔膜產線）
鋰電池行業（主流場景）
鋰電基膜基材厚度、陶瓷涂覆層總厚度在線監測
極片厚絕緣涂層、電池外包裝保護膜檢測
半導體
晶圓表面厚保護膜、厚光刻膠、圖案化硅片保護層
光學 / 顯示
光學板材、柔性基底、偏光片厚膠層、光伏 TCO 厚膜
功能性薄膜
離型膜、防水保護膜、工業涂布厚膠卷材質檢
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內容聲明：
您訪問的日本進口HAMAMATSU/濱松薄膜膜厚測量系統產品信息，由美薩科技（蘇州）有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于日本進口HAMAMATSU/濱松薄膜膜厚測量系統型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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