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PLAZMARK是日本?櫻花彩色筆株式會社?（SakuraColorProductsCorp.）旗下專用于?大氣壓等離子體處理效果可視化檢測?的專業(yè)工業(yè)品牌，核心產(chǎn)品為通過顏色變化直觀量化表面改性/清洗/消毒效果的指示劑。??
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PLAZMARK晶圓型等離子指示片產(chǎn)品參數(shù)
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,綜合,半導體,機械設(shè)備 |
| 主要用途 | 對于晶圓工藝 |
PLAZMARK晶圓型等離子指示片詳細信息
PLAZMARK晶圓型等離子指示片產(chǎn)品概述：
本品外形與生產(chǎn)所用襯底晶圓相近，可直接放置于設(shè)備內(nèi)部，無需額外特殊處理，即可便捷完成片內(nèi)等離子分布均勻性檢測。
本產(chǎn)品極低的出氣速率，能夠保障制程達到更高潔凈度標準。
適用工藝范圍：等離子灰化工藝等離子刻蝕工藝等離子化學氣相沉積（僅限載氣工況）
。無有機材料的陶瓷涂層使其耐熱性高達400°C，適用于高溫工藝。
由于其簡潔的設(shè)計，非常適合LED、MEMS及其他類似制造工藝。有
兩種類型的基材（硅膠和藍寶石）。
濺射工藝（僅反向濺射工況）
PLAZMARK晶圓型等離子指示片核心材質(zhì)與核心優(yōu)勢：
基材：聚酰亞胺耐高溫基板
最高耐受 200℃腔體高溫，真空環(huán)境下不變形、不翹曲，適配等離子灰化、刻蝕、濺射等高溫真空工藝；低翹曲度，貼合晶圓托盤平面。
顯色層：全新無機變色顏料
區(qū)別傳統(tǒng)有機指示劑，高溫下無分解、無褪色；接觸電離等離子后產(chǎn)生穩(wěn)定色差，色差數(shù)值可對應(yīng)換算等離子電子密度，實現(xiàn)工藝定量管控，不只是簡單定性判斷。
超低出氣配方
產(chǎn)品出氣速率做到最小化，不會在真空腔體釋放揮發(fā)性雜質(zhì)，避免污染晶圓、破壞真空潔凈度，滿足半導體高潔凈制程標準。
無背膠一體化晶圓造型
外形和生產(chǎn)所用襯底晶圓一致，無需粘貼、無需額外固定夾具，直接放置載片盤即可使用，無殘膠污染風險。
核心技術(shù)功能兩點：
精準檢測氬電離等離子（核心差異化優(yōu)勢）
常規(guī)氧氣型指示劑僅對氧自由基等離子有效，無法識別氬等離子；本款可高效檢出氬離子轟擊產(chǎn)生的電離等離子，適配氬洗、反向濺射等氬氣主導工藝。
快速完成片內(nèi)等離子均勻性評估
整片指示片同步參與晶圓制程，工藝結(jié)束后整片顯色區(qū)域可直觀判斷腔體內(nèi)等離子分布是否均勻，無需復(fù)雜儀器；搭配色差儀可量化整片不同位置等離子電子密度，快速定位設(shè)備功率不均、氣體偏流、腔體漏氣等故障。
免特殊處理，兼容自動化產(chǎn)線
標準晶圓尺寸，適配半導體全自動真空設(shè)備、晶圓傳送機，上下料流程和硅片一致，無需改造設(shè)備、無需人工特殊操作，適配批量產(chǎn)線日常點檢。
兼顧多類等離子工況
氬等離子、氧自由基等離子均可檢測；自由基主導的工藝場景下，可搭配氧指示劑做交叉驗證，覆蓋多元制程需求。
陶瓷類型φ4英寸/6英寸/200毫米
。無有機材料的陶瓷涂層使其耐熱性高達400°C，適用于高溫工藝。
由于其簡潔的設(shè)計，非常適合LED、MEMS及其他類似制造工藝。有
兩種類型的基材（硅膠和藍寶石）。
等離子處理后剩余的色調(diào)因所用氣體類型而異。
無金屬類型φ4英寸/6英寸/200毫米/300毫米
最大限度地去除金屬成分帶來了更高的清潔度。
它已針對清潔工藝進行了優(yōu)化，如硅膠半導體前端工藝。
平面內(nèi)均勻性評估的應(yīng)用
顏色差異可以通過使用專有的“等離子體指示器評估系統(tǒng)”來量化。
即使是肉眼幾乎無法辨認的細微差別也能被發(fā)現(xiàn)。因此，可以通過映射直觀地評估平面內(nèi)均勻性。
結(jié)果可以輕松且無需繁瑣步驟。
例如，這包括由氬氣引起的顏色變化，以及通過自動映射系統(tǒng)評估平面內(nèi)分布。
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內(nèi)容聲明：
您訪問的PLAZMARK晶圓型等離子指示片產(chǎn)品信息，由桂寧（上海）實驗器材有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于PLAZMARK晶圓型等離子指示片型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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