大連力迪流體控制技術有限公司作為thyracont中國區總代理，誠摯為各位提供德國thyracont全系列產品。代理瑞士Thyracont真空計薄膜沉積行業

大連力迪提供的thyracont真空計以及真空控制器應用于真空處理的各行各業。

Thyracont開發制造智能真空測量和控制儀器，以對精度的熱情，為客戶提供真空應用服務，多種制造工藝。我們的真空產品在大型應用領域也能提供服務。應用包括，例如過程工業，涂層，分析和研發以及半導體和太陽能。

主要應用行業

l 鍍膜設備

l 旋轉蒸發器

l 真空泵QA

l 凍結干燥器

l 光譜儀

l 實驗室工作站

l 真空隔離

l 真空包裝

l 泄漏測試

Thryacont提供高精度的皮拉尼壓阻復合真空計、皮拉尼熱陰極、皮拉尼冷陰極復合真空計，精度高，滿足PVD鍍膜（濺射鍍膜）的高精度真空度檢測。代理瑞士Thyracont真空計薄膜沉積行業

l 皮拉尼/熱陰極：VSH 1000到5x10~10mbar

l 皮拉尼/冷陰極：VSM 1000到5x10~9mbar

l 壓阻/皮拉尼：VSR 1200到1x 10~4mbar

l 皮拉尼：VSP1000到1x10~mbar

l 壓阻規：VSC43 1400到1mbar Piezo

l 電容規：VCC200 200到1x 10mbar

真空表優勢：

• 具有16bar的超壓穩定性，無需超壓閥，節約成本

• 響應速度快，精度高

• 防護等級最高可達IP54

• 法蘭處耐溫度，高達160攝氏度

• 輸出信號:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet滿足不同的控制系統連接

l PVD鍍膜的核心流程節點

2 PVD鍍膜流程主要分為粗抽階段、高抽階段、工藝沉積階段、后處理階段四個核心節點，每個節點對真空度的測量需求不同：

2 粗抽階段：從大氣壓力抽至102~10?1Pa，需要快速監測低真空區間的壓力變化，判斷粗抽是否完成

2 高抽階段：從10?1Pa抽至10??~10??Pa，需要精準監測高真空/超高真空區間的壓力，確保本底真空達標

2 工藝沉積階段：根據不同工藝（蒸發/濺射/離子鍍）維持特定真空度，可能需要通入反應氣體，需動態監測真空度波動

2 后處理階段：鍍膜完成后充氣或泄壓，需監測真空度從高到低的變化，確保安全操作

PVD濺射鍍膜：

l 標準配置（3臺真空計）

• 1臺皮拉尼電阻真空計：負責粗抽階段的低真空測量---VSR53/VCR53

• 1臺冷、熱陰極電離真空計：負責高抽階段的高真空測量---VSM77/VSH87

• 1臺電容式薄膜真空計：負責工藝沉積階段的動態真空度監測（量程10?~10?3Pa）

• 適用場景：中型工業PVD生產線、對薄膜質量要求較高的裝飾鍍膜或功能鍍膜工藝

l 優勢：電容式薄膜真空計的響應速度快、抗污染能力強，能精準監測工藝沉積階段因通入反應氣體導致的真空度波動，保證薄膜成分均勻

l 劣勢：仍無法同時監測多個腔體的真空度，若設備具有多個沉積腔體，可能存在測量盲區

l 配置（4臺及以上真空計）

• 2臺皮拉尼電阻真空計：分別負責粗抽階段和后處理階段的低真空測量，避免交叉污染—VSR53/VSR54

• 1臺熱陰極電離真空計：負責高抽階段的高真空測量---VSH87

• 1臺冷陰極電離真空計：負責工藝沉積階段的超高真空測量---VSM77

• 額外的電容式薄膜真空計（按需配置）：每個沉積腔體配置1臺，監測各腔體的真空度

• 適用場景：大型多腔體PVD設備、半導體晶圓鍍膜等對真空度精度要求高的工藝

l 優勢：多臺真空計分工明確，獨立監測不同階段和腔體的真空度，確保每個環節的真空度精度都能滿足工藝要求，避免因單一真空計故障導致生產停滯

l 劣勢：設備成本和維護成本較高，對操作人員的專業要求也更高