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PLAZMARK耐高溫指示標簽產品概述：

采用全新無機顯色劑與聚酰亞胺基材制成的標簽式指示片，最高可耐受 200℃高溫。本品柔韌性佳、粘性良好，可貼附于基材表面或等離子設備內部，便于檢測判定等離子處理狀態。

核心結構與材質優勢：

顯色層：新型無機變色劑

區別傳統有機顯色材料，無機色料耐高溫、無高溫分解失效問題；接觸等離子后會發生穩定、可逆 / 不可逆顯色變化，色差變化可量化，能建立色差與等離子電子密度的對應換算關系，實現等離子強度定量判斷。

基材：聚酰亞胺（Polyimide）

耐 200℃高溫，耐高溫烘烤、等離子腔體高溫環境，不會受熱變形、融化、掉粉；基材自帶柔性，可貼合曲面、狹小腔體內部。

背膠：高粘性耐高溫壓敏膠

附著力強，真空腔體、晶圓載具、設備內壁、元器件表面均可穩固粘貼，等離子處理完成后可完整撕除無殘

核心功能與技術要點：

• 兼容氬氣等離子檢測（核心優勢）

  常規 O₂氧氣清洗指示劑僅對氧自由基等離子起效，難以識別電離氬等離子；本款標簽可高效檢測 Ar 氬等離子電離狀態，適配氬離子轟擊清洗工藝。

• 雙場景適配檢測

• 氬等離子干法清洗：依靠標簽色差判斷等離子電子密度，量化腔體電離強度；

• 氧自由基等離子體系：若為自由基主導的混合工藝，仍可搭配氧氣指示劑做輔助驗證，氧體系工況下傳統氧指示劑檢測效果更優。

• 可視化快速判定，無需復雜儀器

  直接貼附在基板、載具、等離子腔體內部，工藝完成后肉眼即可觀察變色程度；有量化需求時，通過色差儀讀取色差值，換算等離子電子濃度，直觀評估等離子處理均勻度、有效作用區域。

• 柔性易貼，適配復雜工位

  輕薄可彎折，狹小腔體內壁、芯片、引線框架、MEMS 器件表面等異形位置均可粘貼，無貼合死角。

變色：

有兩種不同的靈敏度類型可供選擇：

色差與等離子體電子密度的對應關系：

[氡氣等離子體（ICP設備）]

PLAZMARK耐高溫指示標簽規格：

加工氣體（等離子體種類）：氪、氧、氫₂、碳₄、SF₆、氯₂