半導(dǎo)體行業(yè)用溫控器 INR-495-042是 SMC 專為半導(dǎo)體晶圓測(cè)試、刻蝕、探針臺(tái)設(shè)備開發(fā)的水冷式環(huán)保循環(huán)溫控機(jī)，整機(jī)采用天然 CO?（R744）冷媒，GWP 值僅為 1，規(guī)避歐盟 F-Gas、美國(guó)及加州冷媒管控限制，是半導(dǎo)體產(chǎn)線低碳合規(guī)換代主力機(jī)型。

設(shè)備額定冷卻能力 8.5kW，溫控區(qū)間覆蓋 - 20℃至 70℃，集成冷熱雙向調(diào)控模塊，溫度穩(wěn)定精度可達(dá) ±1℃，可適配半導(dǎo)體設(shè)備低溫冷卻、高溫恒溫多工藝需求。循環(huán)介質(zhì)專用氟化液，支持 10L/min、17.5L/min、25L/min 三檔流量切換，匹配不同規(guī)格探針臺(tái)、晶圓檢測(cè)設(shè)備散熱工況，有效穩(wěn)定芯片測(cè)試溫度，消除熱漂移帶來(lái)的檢測(cè)數(shù)據(jù)偏差DirectIndu...。

整機(jī)水冷換熱結(jié)構(gòu)，機(jī)身尺寸標(biāo)準(zhǔn)化，可直接替換傳統(tǒng)高 GWP 冷媒舊款溫控設(shè)備，無(wú)需改造產(chǎn)線布局。CO?冷媒無(wú)毒、不可燃，符合 ASHRAE34 A1 安全標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)國(guó)際空運(yùn)限制，進(jìn)出口運(yùn)輸流程簡(jiǎn)化；同時(shí)無(wú)需氟利昂定期檢測(cè)、回收處理，大幅降低工廠環(huán)保運(yùn)維工時(shí)與成本Automation...。

產(chǎn)品嚴(yán)格滿足 SEMI S2、S8、F47 半導(dǎo)體行業(yè)安全規(guī)范，適配潔凈車間無(wú)塵使用環(huán)境。機(jī)身配備集成式數(shù)字控制面板，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)介質(zhì)溫度、循環(huán)流量、機(jī)組運(yùn)行壓力與故障代碼，參數(shù)自定義調(diào)節(jié)便捷。整機(jī)搭載缺水?dāng)嗔鳌嚎s機(jī)高低壓過(guò)載、超溫停機(jī)、低溫防凍全套安全防護(hù)，故障自動(dòng)告警停機(jī)，保護(hù)昂貴半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

設(shè)備底部配備萬(wàn)向腳輪與調(diào)平支腳，拆裝移位便捷，內(nèi)部濾芯、密封件、循環(huán)泵等易損件維護(hù)簡(jiǎn)易，可支持半導(dǎo)體產(chǎn)線 24 小時(shí)不間斷連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。憑借零氟環(huán)保冷媒、寬溫冷熱調(diào)控、半導(dǎo)體行業(yè)合規(guī)認(rèn)證、低運(yùn)維成本的綜合優(yōu)勢(shì)，INR-495-042/043 為晶圓制造、芯片測(cè)試產(chǎn)線提供長(zhǎng)效低碳標(biāo)準(zhǔn)化溫控解決方案。