慧諾16E旋涂儀勻膠機：觸摸屏控制，電壓，100-10000rpm無級調速

在半導體制造、光學涂層、材料科學等領域，薄膜制備和光刻膠涂覆工藝對涂層的均勻性、厚度一致性有著要求。慧諾16E旋涂儀勻膠機采用觸摸屏控制，基于離心力工作原理，轉速范圍100~10000rpm，加速度100~10000rpm/s可調，支持多段編程。電源采用電壓AC90-250V，適應不同國家和地區的供電環境。吸片采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶多臺勻膠機工作，是實驗室涂覆薄膜、涂膠液的可靠設備。

一、產品概述

慧諾16E勻膠機基于離心力工作原理，將膠液滴在旋轉的基片上，通過高速旋轉使膠液在基片表面均勻分布，形成薄膜或涂層。儀器采用可靠的電機和驅動器，吸片通過電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶動多臺勻膠機工作，適合流水線工藝。

該設備適用于光刻膠涂布、涂硼等工藝過程，也可用于涂覆聚合物涂層、薄膜制備等多種應用場景。觸摸屏界面操作簡便，勻膠效率高，使用方便。

二、核心功能

觸摸屏控制，操作直觀
采用觸摸顯示屏，人機交互友好，參數設置便捷。支持1~5段可編程控制，最多可存儲12組程序，滿足不同工藝需求。

電壓，適用范圍廣
電源電壓為AC90-250V，50-60Hz單相，通用，無需額外配置變壓器，適合出口設備及跨國實驗室使用。電源功率150W。

寬轉速范圍，加速度可調
轉速范圍100~10000rpm，加速度范圍100~10000rpm/s（空載），均可無級調節。每段時間最長可達3000秒，分辨率0.1秒，確保涂覆過程的精準控制。轉速分辨率1rpm。

電磁閥控制氣路，適配流水線
吸片采用電磁閥控制氣路，一個真空泵可同時帶多個勻膠機工作，提高生產效率。真空輸入要求0.06~0.09MPa，真空流量最小15升/分鐘以上。

電機轉矩大，運轉平穩
采用高性能電機，轉矩優于同類產品，運轉平穩可靠，電器線路設計可靠，確保長時間穩定運行。

涂覆均勻性優異
通過離心力作用，膠液從中心向外邊界均勻擴散，實現高質量的薄膜或涂層。旋轉速度、時間、膠液粘度等參數均可調節，滿足不同厚度和均勻性要求。

真空吸附，基片固定牢固
配備真空吸附系統，確保基片在高速旋轉過程中牢固固定在托盤上，避免偏移或脫落。裝片直徑可選擇10~100mm，支持兩種規格同時適配。

三、詳細規格參數

慧諾16E勻膠機電源電壓為AC90-250V，50-60Hz單相，電壓適用，電源功率150W。裝片直徑可在10至100毫米范圍內選擇，支持兩種規格同時適配。

程序控制方面，支持1至5段可編程編輯頁面，最多可存儲12組程序。每段運行時間最長3000秒，分辨率0.1秒。轉速范圍為100至10000轉/分鐘，加速度范圍為100至10000轉/分鐘/秒（空載），轉速分辨率1轉/分鐘。

外形尺寸為250×300×230毫米（不含鍋的高度），整機重量約11公斤。真空泵為選配件，真空輸入要求0.06至0.09兆帕，真空流量最小15升/分鐘以上。真空接口自帶6毫米管1米。

四、包裝清單

主機×1、說明書×1、合格證×1、保修卡×1

五、工作原理

勻膠機的工作原理是通過將膠液滴在旋轉的基片上，然后通過旋轉運動使膠液在基片表面均勻分布，形成薄膜或涂層。離心力會將膠液從中心向外邊界擴散，最終形成均勻的涂層。勻膠機的旋轉速度、加速度、時間以及膠液的粘度等參數會影響薄膜或涂層的厚度和均勻性。

六、產品優勢

• 觸摸屏操作：界面直觀，參數設置快捷

• 電壓：AC90-250V，通用

• 寬調速范圍：轉速100~10000rpm，加速度100~10000rpm/s

• 工藝可控性強：多段編程，時間、轉速、加速度均可調

• 電機性能優異：轉矩大，運轉平穩，優于同類產品

• 適合流水線作業：電磁閥控制氣路，一泵帶多機

• 應用廣泛：適用于光刻膠、聚合物涂層、薄膜制備等

• 真空吸附穩定：基片固定牢固，確保涂覆均勻性

七、適用行業與典型應用

• 半導體制造：光刻膠涂布工藝

• 光學涂層：光學薄膜制備

• 材料科學：薄膜材料研發與制備

• MEMS微機電系統：微結構涂覆

• 科研院所：實驗室薄膜工藝研究

• 涂硼工藝：核探測器件制備

八、選配件說明

真空泵為選配件，用戶可根據需要另行購買。真空輸入要求0.06~0.09MPa，真空流量最小15升/分鐘以上。儀器自帶6mm管1米，方便連接。

九、購買渠道：認準南北潮商城

南北潮商城是慧諾智能勻膠機產品的總代理，所有在售16E勻膠機均為原廠，享受廠家級技術支持與售后服務。

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十、結語

慧諾16E旋涂儀勻膠機憑借觸摸屏控制、電壓AC90-250V、100~10000rpm寬轉速范圍、100~10000rpm/s可調加速度、多段可編程、電磁閥氣路控制等優勢，成為實驗室旋涂涂膜的理想設備。無論您是進行半導體光刻膠涂布、光學薄膜制備，還是材料科學研究，這款勻膠機都能提供高效、穩定、均勻的涂覆體驗。

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