全新INNODIS一諾迪思 PFA手動閥

全新INNODIS一諾迪思 PFA手動閥

是一款面向高潔凈工業場景的高純氣動閥，核心參數與特性如下：

基礎規格：?
公稱通徑為50mm（約2英寸），閥體采用PFA/PTFE全氟聚合物材質，無金屬部件，杜絕離子析出風險，符合UHP超高純潔凈標準。

性能特點：?
采用氣動驅動，響應迅速，支持高頻次啟閉操作，密封結構可靠實現零泄漏，可長期耐受HF、HNO?等強腐蝕介質。

INNODIS一諾迪思 PFA閥門接頭 IVD-P50UCF1適用場景：?
適配大流量高純水主管路、主藥液輸送系統、酸堿集中循環管路、CMP后清洗單元等半導體、生物醫藥等高潔凈工藝環節。

連接方式：?
支持Mega Lock快接結構或R接口，便于模塊化集成與快速維護，可搭配同系列入珠、擴口類PFA接頭配套使用。

一、產品整體概述

INNODIS（韓國一諾迪思）為半導體濕法制程專用高純流體設備品牌，IBP-B10T-ZH 屬于 IBP 標準小型風囊泵系列，全流道 PFA/PTFE 全氟材質、無任何金屬接觸藥液，依靠壓縮空氣驅動風囊往復輸送高純藥液、超純水；ZH 代表中文配套資料 + 國內潔凈廠房適配改良版本，對標 Pillar、Trebor 小型風囊泵，主打小流量精準輸送、低脈動、低顆粒析出。

二、IBP-B10T-ZH 核心規格參數

表格

參數項

IBP-B10T-ZH 標準參數

泵體過流材質

本體：高純 PFA；風囊膜片：膨體 PTFE（ePTFE）；閥球 / 閥座：PTFE，全域無金屬浸潤介質

額定流量

B10 規格：10 L/min（標準工況），流量可通過氣源壓力無級調節

最高輸出壓力

0.35 MPa（3.5 bar），適配晶圓清洗、藥液供給背壓需求

驅動氣源

潔凈干燥 CDA 壓縮空氣，供氣壓力 0.4～0.6 MPa

工作溫度區間

0～80℃（常溫藥液標準工況）；短時最高 90℃

接口形式

標準入珠式 PFA 管路接口，匹配 φ1/4 英寸、3/8 英寸潔凈管路

運行脈動特性

雙風囊對稱結構，藥液輸出脈動極低，壓力輸出平穩

顆粒等級

滿足 SEMI S2 潔凈標準，內部研磨拋光處理，產塵量極低

防爆特性

純氣動結構，無電機、無電火花，適配易燃易爆有機溶劑、強酸強堿工況

整機尺寸 / 重量

緊湊型臺式安裝，整機約 3.2kg，適配機臺內部狹小空間布局

安裝方式

底部標準法蘭固定，立式正裝安裝

三、結構與核心技術優勢

全氟無金屬流道，杜絕金屬離子污染

藥液全程只接觸 PFA+PTFE，可輸送 HF 、顯影液 TMAH、剝離液、硝酸、鹽酸、氨水、各類蝕刻藥液、UPW 超純水，不會析出金屬離子造成晶圓良率不良。

對稱雙風囊低脈動輸送

區別于普通隔膜泵，風囊式柔性往復擠壓輸送，液體流速、壓力波動極小，噴淋清洗、藥液循環供給壓力穩定，晶圓表面沖洗均勻一致。

氣動無源安全結構

整機無電氣元件，潔凈室防爆等級達標，濕法槽體、藥液柜密閉環境可安全使用，不存在電機過熱起火風險。

自吸能力強、空轉耐受

短時干運轉不會損壞膜片，槽體液位偏低時不易立刻失效停機，容錯性優于普通波紋管泵。

易拆解維護設計

泵頭拆裝簡單，風囊、單向閥為獨立易損件，現場即可更換備件，不用整機返廠維修，縮短產線停機時長。

ZH 本土化優化版本

附帶中文安裝手冊、中文選型圖紙，密封結構適配國內潮濕潔凈車間環境，密封圈耐國內藥廠、晶圓廠普遍使用的各類國產高純化學品。

四、標準應用場景（半導體 & 顯示行業為主）

半導體晶圓濕法制程（最核心）

晶圓 RCA 清洗槽藥液循環、刻蝕槽藥液補給、酸洗 / 堿洗藥液輸送、光阻剝離液供給、超純水回路增壓輸送。

面板 LCD/OLED 行業

玻璃基板清洗、顯影、蝕刻、剝離工段高純藥液循環輸送、噴淋系統穩壓供液。

光伏 & 鋰電精密制程

硅片制絨酸洗藥液輸送、鋰電極片清洗高純溶劑輸送。

生物醫藥高純試劑輸送

高純度藥液、緩沖液低污染轉運、密閉管路循環供給。

五、出廠標配 & 山金常備選配物料

出廠標配

IBP-B10T-ZH 泵主體、安裝固定底座、原廠密封墊片、出廠檢測報告、中英文說明書

高頻常備選配

易耗配件：原裝 PTFE 風囊膜片總成、PFA 單向閥組件、入珠轉接頭、PFA 軟管

氣動配件：氣源調壓過濾器（FR 氣源二聯件）、潔凈氣動管路、快插接頭

配套服務：泵體定期維保方案、潔凈管路布局指導、泄漏故障排查、年度性能校驗

六、選型區分（IBP 系列命名規則）

B10：額定流量 10L/min（小流量點位供液、小型清洗槽）

B20/B30：中大流量，適配大型槽體集中循環

T：標準通用型結構；ZH：國內制程優化中文版

七、安裝與日常維護要點

驅動氣源必須搭配干燥過濾裝置，油水、雜質進入氣缸會造成動作卡頓、流量衰減；

初次投產前使用超純水循環沖洗泵體內部，去除加工殘留微粒；

輸送強腐蝕藥液停機后，必須用 UPW 純水置換沖洗泵腔，避免藥液結晶腐蝕膜片；

正常工況建議每 8000 小時巡檢風囊狀態，藥液結晶工況縮短檢修周期；

管路緊固使用專用 PFA 管鉗，禁止金屬硬夾持劃傷管路內壁造成掉顆粒。

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