全新INNODIS一諾迪思 臭氧PFA手動(dòng)閥

全新INNODIS一諾迪思 臭氧PFA手動(dòng)閥

 是韓國INNODIS品牌推出的高純流體控制部件，專為臭氧等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)設(shè)計(jì)。

核心特性

?材質(zhì)優(yōu)勢(shì)?：采用高純PFA材質(zhì)，耐臭氧強(qiáng)腐蝕，無雜質(zhì)析出，適配半導(dǎo)體、化工等嚴(yán)苛流體場(chǎng)景。

?結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)?：屬于手動(dòng)驅(qū)動(dòng)的隔膜閥類型，支持入珠、擴(kuò)口等半導(dǎo)體行業(yè)常用連接方式，可按需定制組合閥方案。

?適配場(chǎng)景?：可用于半導(dǎo)體、LCD制造中的臭氧藥液管路控制，也適用于環(huán)保、化工領(lǐng)域的強(qiáng)腐蝕性流體手動(dòng)通斷操作。

目前國內(nèi)有多家代理商可提供該類閥門的現(xiàn)貨供應(yīng)與技術(shù)支持。

是一款面向高潔凈工業(yè)場(chǎng)景的高純氣動(dòng)閥，核心參數(shù)與特性如下：

基礎(chǔ)規(guī)格：?
公稱通徑為50mm（約2英寸），閥體采用PFA/PTFE全氟聚合物材質(zhì)，無金屬部件，杜絕離子析出風(fēng)險(xiǎn)，符合UHP超高純潔凈標(biāo)準(zhǔn)。

性能特點(diǎn)：?
采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)迅速，支持高頻次啟閉操作，密封結(jié)構(gòu)可靠實(shí)現(xiàn)零泄漏，可長期耐受HF、HNO?等強(qiáng)腐蝕介質(zhì)。

INNODIS一諾迪思 PFA閥門接頭 IVD-P50UCF1適用場(chǎng)景：?
適配大流量高純水主管路、主藥液輸送系統(tǒng)、酸堿集中循環(huán)管路、CMP后清洗單元等半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等高潔凈工藝環(huán)節(jié)。

連接方式：?
支持Mega Lock快接結(jié)構(gòu)或R接口，便于模塊化集成與快速維護(hù)，可搭配同系列入珠、擴(kuò)口類PFA接頭配套使用。

一、產(chǎn)品整體概述

INNODIS（韓國一諾迪思）為半導(dǎo)體濕法制程專用高純流體設(shè)備品牌，IBP-B10T-ZH 屬于 IBP 標(biāo)準(zhǔn)小型風(fēng)囊泵系列，全流道 PFA/PTFE 全氟材質(zhì)、無任何金屬接觸藥液，依靠壓縮空氣驅(qū)動(dòng)風(fēng)囊往復(fù)輸送高純藥液、超純水；ZH 代表中文配套資料 + 國內(nèi)潔凈廠房適配改良版本，對(duì)標(biāo) Pillar、Trebor 小型風(fēng)囊泵，主打小流量精準(zhǔn)輸送、低脈動(dòng)、低顆粒析出。

二、IBP-B10T-ZH 核心規(guī)格參數(shù)

表格

參數(shù)項(xiàng)

IBP-B10T-ZH 標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)

泵體過流材質(zhì)

本體：高純 PFA；風(fēng)囊膜片：膨體 PTFE（ePTFE）；閥球 / 閥座：PTFE，全域無金屬浸潤介質(zhì)

額定流量

B10 規(guī)格：10 L/min（標(biāo)準(zhǔn)工況），流量可通過氣源壓力無級(jí)調(diào)節(jié)

最高輸出壓力

0.35 MPa（3.5 bar），適配晶圓清洗、藥液供給背壓需求

驅(qū)動(dòng)氣源

潔凈干燥 CDA 壓縮空氣，供氣壓力 0.4～0.6 MPa

工作溫度區(qū)間

0～80℃（常溫藥液標(biāo)準(zhǔn)工況）；短時(shí)最高 90℃

接口形式

標(biāo)準(zhǔn)入珠式 PFA 管路接口，匹配 φ1/4 英寸、3/8 英寸潔凈管路

運(yùn)行脈動(dòng)特性

雙風(fēng)囊對(duì)稱結(jié)構(gòu)，藥液輸出脈動(dòng)極低，壓力輸出平穩(wěn)

顆粒等級(jí)

滿足 SEMI S2 潔凈標(biāo)準(zhǔn)，內(nèi)部研磨拋光處理，產(chǎn)塵量極低

防爆特性

純氣動(dòng)結(jié)構(gòu)，無電機(jī)、無電火花，適配易燃易爆有機(jī)溶劑、強(qiáng)酸強(qiáng)堿工況

整機(jī)尺寸 / 重量

緊湊型臺(tái)式安裝，整機(jī)約 3.2kg，適配機(jī)臺(tái)內(nèi)部狹小空間布局

安裝方式

底部標(biāo)準(zhǔn)法蘭固定，立式正裝安裝

三、結(jié)構(gòu)與核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

全氟無金屬流道，杜絕金屬離子污染

藥液全程只接觸 PFA+PTFE，可輸送 HF 、顯影液 TMAH、剝離液、硝酸、鹽酸、氨水、各類蝕刻藥液、UPW 超純水，不會(huì)析出金屬離子造成晶圓良率不良。

對(duì)稱雙風(fēng)囊低脈動(dòng)輸送

區(qū)別于普通隔膜泵，風(fēng)囊式柔性往復(fù)擠壓輸送，液體流速、壓力波動(dòng)極小，噴淋清洗、藥液循環(huán)供給壓力穩(wěn)定，晶圓表面沖洗均勻一致。

氣動(dòng)無源安全結(jié)構(gòu)

整機(jī)無電氣元件，潔凈室防爆等級(jí)達(dá)標(biāo)，濕法槽體、藥液柜密閉環(huán)境可安全使用，不存在電機(jī)過熱起火風(fēng)險(xiǎn)。

自吸能力強(qiáng)、空轉(zhuǎn)耐受

短時(shí)干運(yùn)轉(zhuǎn)不會(huì)損壞膜片，槽體液位偏低時(shí)不易立刻失效停機(jī)，容錯(cuò)性優(yōu)于普通波紋管泵。

易拆解維護(hù)設(shè)計(jì)

泵頭拆裝簡(jiǎn)單，風(fēng)囊、單向閥為獨(dú)立易損件，現(xiàn)場(chǎng)即可更換備件，不用整機(jī)返廠維修，縮短產(chǎn)線停機(jī)時(shí)長。

ZH 本土化優(yōu)化版本

附帶中文安裝手冊(cè)、中文選型圖紙，密封結(jié)構(gòu)適配國內(nèi)潮濕潔凈車間環(huán)境，密封圈耐國內(nèi)藥廠、晶圓廠普遍使用的各類國產(chǎn)高純化學(xué)品。

四、標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用場(chǎng)景（半導(dǎo)體 & 顯示行業(yè)為主）

半導(dǎo)體晶圓濕法制程（最核心）

晶圓 RCA 清洗槽藥液循環(huán)、刻蝕槽藥液補(bǔ)給、酸洗 / 堿洗藥液輸送、光阻剝離液供給、超純水回路增壓輸送。

面板 LCD/OLED 行業(yè)

玻璃基板清洗、顯影、蝕刻、剝離工段高純藥液循環(huán)輸送、噴淋系統(tǒng)穩(wěn)壓供液。

光伏 & 鋰電精密制程

硅片制絨酸洗藥液輸送、鋰電極片清洗高純?nèi)軇┹斔汀?/p>

生物醫(yī)藥高純?cè)噭┹斔?/p>

高純度藥液、緩沖液低污染轉(zhuǎn)運(yùn)、密閉管路循環(huán)供給。

五、出廠標(biāo)配 & 山金常備選配物料

出廠標(biāo)配

IBP-B10T-ZH 泵主體、安裝固定底座、原廠密封墊片、出廠檢測(cè)報(bào)告、中英文說明書

高頻常備選配

易耗配件：原裝 PTFE 風(fēng)囊膜片總成、PFA 單向閥組件、入珠轉(zhuǎn)接頭、PFA 軟管

氣動(dòng)配件：氣源調(diào)壓過濾器（FR 氣源二聯(lián)件）、潔凈氣動(dòng)管路、快插接頭

配套服務(wù)：泵體定期維保方案、潔凈管路布局指導(dǎo)、泄漏故障排查、年度性能校驗(yàn)

六、選型區(qū)分（IBP 系列命名規(guī)則）

B10：額定流量 10L/min（小流量點(diǎn)位供液、小型清洗槽）

B20/B30：中大流量，適配大型槽體集中循環(huán)

T：標(biāo)準(zhǔn)通用型結(jié)構(gòu)；ZH：國內(nèi)制程優(yōu)化中文版

七、安裝與日常維護(hù)要點(diǎn)

驅(qū)動(dòng)氣源必須搭配干燥過濾裝置，油水、雜質(zhì)進(jìn)入氣缸會(huì)造成動(dòng)作卡頓、流量衰減；

初次投產(chǎn)前使用超純水循環(huán)沖洗泵體內(nèi)部，去除加工殘留微粒；

輸送強(qiáng)腐蝕藥液停機(jī)后，必須用 UPW 純水置換沖洗泵腔，避免藥液結(jié)晶腐蝕膜片；

正常工況建議每 8000 小時(shí)巡檢風(fēng)囊狀態(tài)，藥液結(jié)晶工況縮短檢修周期；

管路緊固使用專用 PFA 管鉗，禁止金屬硬夾持劃傷管路內(nèi)壁造成掉顆粒。

我們這邊是家日本綜合商社，做日貨工業(yè)品這款 我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克、SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈、NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪、NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗  watson沃森  DIC迪愛生   INNODIS 一諾迪思  ARLIN艾阿爾

優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC、S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)、AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計(jì)器、IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機(jī)、SURUGA駿、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等。

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計(jì)、焊接機(jī)、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)、恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀、接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、應(yīng)變測(cè)試儀、拉針儀、水平測(cè)試儀等。