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產品簡介
| 3C閥門類別 | 工業 | 工作溫度 | 其他 |
| 類型(通道位置) | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 流動方向 | 其他 | 壓力環境 | 其他 |
| 應用領域 | 化工,航空航天,制藥/生物制藥,綜合,半導體 | 種類 | 其他 |
特色
01. 除密封操作外,閥體不接觸殼體,減少產生顆粒的量。
02. 閥體密封機構采用均勻間隔的球壓方式,在反壓下具有優異的密封性能。
03. 不銹鋼外殼通過真空吹風機對拋光板材制造,消除內部表面的死角,減少氣體排放。
04. 通過使用鋁合金制造閥體,我們實現了減重。
| 法蘭式 | JIS?ISO |
|---|---|
| 呼鈴直徑 | 65A ~ 250A |
| 泄漏 量(殼體)(閥座)(軸段) | |
| 應用領域 | 105~10-5 PA |
| 氣體接觸材料 | SUS304,鋁合金 |
| 軸密封 | 氟橡膠O形圈(線性型) |
| 傳動系統 | 空氣驅動 |
| 工作氣壓 | 0.4~0.6 MPaG |
| 閥門打開時允許的壓力差 | 低于3000Pa |
| 開合指示器 | 配備磁性接近開關(位置檢測用的開關) |
*也可以制造特殊規格。
*本規范可能因改進目的而無通知地更改。
超薄緊湊閥體
面間厚度小,管路布局省空間,直通大通流結構,抽氣流阻低,縮短腔體抽真空時間。
低粉塵潔凈結構
閥板僅閉合密封時與閥體接觸,啟閉全程無金屬摩擦,微顆粒產生量極低,適配半導體、光學鍍膜潔凈產線。
雙向耐反壓密封
等間距滾珠均壓密封機構,管路、腔體存在反向壓差時仍可嚴密密封,可作分子泵前端保護閥、真空腔體隔斷閥通用。
低放氣腔體
不銹鋼內腔真空釬焊成型,無積氣死角,有機揮發物極低,適配高精度真空制程
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