1、MC-7000 系列（MC-7100C/7200C/7100D/7200D）

1. 流量量程：氮氣換算 10SCCM~20SLM，控制區間 2%-100% FS

2. 精度：25%-100% FS 為 ±1.0% SP，2%-25% FS 為 ±0.25% FS；重復性 ±0.2% FS

3. 響應速度 0.2 秒，耐壓 1MPa，泄漏率≤1×10?11Pa?m3/s（He）

4. 通訊：C 型號 EtherCAT 總線，D 型號 DeviceNet 總線；壓電式控制閥，常閉 / 常開可選

   適用用途

   適配半導體 8/12 寸晶圓產線，用于刻蝕、PECVD 薄膜沉積；可兼容 Cl?、WF?等腐蝕性特種氣體，適配對流量響應速度有較高要求的精密制程。

5. 

2、MC-5000 系列（MC-5100C/5200C/5250C/5460C/5470C/5580C、MC-5100L/5200L/5250L/5460L/5470L）

1. 流量量程：10SCCM~200SLM，覆蓋微小流量至大流量工藝需求

2. 精度：10%-100% FS±1.0% SP，2%-10% FS±0.25% FS，重復性 ±0.2% FS

3. 耐壓 1MPa，金屬硬密封結構，適配多種工藝氣體；C 款 EtherCAT，L 款 DeviceNet 數字通訊

   適用用途

   半導體、OLED 面板、光伏 HJT 鍍膜產線通用型流量控制器；適配氮氣、氬氣、氧氣等常規工藝氣體，滿足批量量產設備配套，可多路并聯同步氣體配比。

3、MC-3000 系列（MC-3102L/3202I/3252L/3452L/3462L/3472L/3582L、MC-3102S）

1. 流量量程 10SCCM~200SLM，響應時間 1 秒，精度 ±1.0% FS，重復性 ±0.2% FS

2. MC-3102S 為低壓差專用款，適配升華固態源、液化氣體；I 型號支持 0-5V 模擬信號輸出

3. 金屬密封，工作溫度 5~50℃，RS485 數字通訊，結構緊湊體積小巧

   適用用途

   實驗室研發設備、中小型鍍膜設備、氣體分析儀器；低壓差型號適配低氣壓工藝，經濟型配置適配預算有限的研發與小批量產線。

4. 

4、簡易基礎款（MC-710/720/730、MC-10RC/11RC）

1. 中小流量量程，模擬 + 簡易數字雙信號輸出，響應時間 1 秒，基礎精度 ±1.0% FS

2. 結構簡化，安裝維護便捷，適配常規常壓工藝氣體，耐壓 1MPa

   適用用途

   通用工業氣體配比、小型實驗裝置、教學儀器；基礎款成本適中，適用于無高精度高速響應需求的常規氣體控制場景。

5、MM 高溫耐腐蝕系列（MM-3102L/3202L/3252L/3452L/3462L/3472L/3582L、MM-3102L-TN/MM-3202L-TN）

1. 支持最高 120℃高溫工況，耐腐蝕性強化密封材質，適配高溫液化氣體、腐蝕性氣態前驅體

2. 流量量程 10SCCM~200SLM，精度 ±1.0% FS，RS485 數字通訊；TN 型號耐化學腐蝕性能進一步提升

   適用用途

   高溫薄膜沉積、ALD 高溫前驅體供氣、特種腐蝕氣體高溫輸送；適配需要持續高溫烘烤管路的半導體先進制程。