山金工業 DIC 迪愛生大流量純水防靜電設備

山金工業 DIC 迪愛生大流量純水防靜電設備

1、基礎規格參數

2、設備工作原理

1. 脫氣環節：超純水通入中空纖維內腔，膜外側負壓真空抽取，脫除水中溶解氧、多余二氧化碳，消除清洗工序氣泡水印、噴淋針孔缺陷。

2. 防靜電控阻環節：一路純水單獨制備 CO?飽和純水，通過管路配比與原生超純水混合；微量二氧化碳電離出導電離子，降低純水電阻率，快速導出水流與基板摩擦產生的靜電，無需額外添加化學藥劑，不破壞純水潔凈度。

3、產品核心特點

1. 結構簡約穩定，無復雜攪拌、增壓動部件，設備故障概率低，運維工作量小。

2. 專用分流管路設計，產線流量波動時，出水電阻率波動幅度小，控阻穩定性強。

3. 水路壓力損耗低，原有超純水管道可直接加裝，無需額外增壓設備，降低產線改造成本。

4. 全水路接觸部件采用高純潔凈材質，無雜質析出，適配晶圓、光罩等高潔凈制程。

5. 支持選配全清潔規格管路接頭，滿足更高等級半導體潔凈車間使用需求。

4、適用行業與工藝用途

1. 半導體行業：晶圓、光罩、掩模版高壓噴淋清洗、槽式浸泡清洗、切割工序純水沖洗，避免靜電擊穿精細線路、粉塵靜電二次吸附基板。

2. 精密電子：電路板、電池片純水清洗制程，管控水體靜電，降低產品不良率。

3. 光學精密加工：光學元件、玻璃基板水洗工序，消除氣泡水印與靜電吸附灰塵問題。