池田屋！KOFLOC 附帶顯示器的質量流量計 8700MM 

池田屋！KOFLOC 附帶顯示器的質量流量計 8700MM 

8700MM 是日本 KOFLOC（科賦樂）株式會社 8700 系列中的一款附帶顯示器的大流量質量流量計（Mass Flow Meter, MFM）。該產品與 8700MC 質量流量控制器同屬 8700 系列，區別在于 8700MM 為測量型（無閥門控制功能），僅用于氣體流量的測量與顯示。產品集成了顯示單元，支持瞬時/累計流量顯示及報警設定，標配 RS485 通信功能，模擬輸入輸出 0-5VDC（可變更 4-20mA），適用于半導體制造、CVD 工藝、真空鍍膜、分析儀器及燃料電池等場景中的氣體流量精確測量與監測。

產品特點與設計

8700MM 具備以下特點：

• 大流量范圍覆蓋：以 N? 換算，流量范圍從 F.S. 10SCCM 至 20SLM（8700 系列）

• 內置顯示器：可靈活使用各種功能，包括瞬時/累計流量顯示、報警設定

• 標配 RS485 通信：支持 Modbus-RTU 協議，便于與上位系統集成

• 模擬輸入輸出：標配 0-5VDC（可變更 4-20mA）

• 低功耗：24VDC 供電，消耗電流僅 300mA

流量規格與精度

8700MM 的滿量程流量范圍為 10SCCM 至 20SLM（N? 換算）。在 25°C 條件下，測量精度為 ±1.0% F.S.，重現性為 ±0.5% F.S.，響應速度在 2 秒以內（達 ±2% F.S.）。溫度系數為 ±0.1% F.S./℃（15–35℃ 范圍內）。

工作壓差與耐壓

• 入口最大壓力：500kPa(G) 以下

• 耐壓：1MPa(G)

• 外部泄漏率（氦氣）：1×10?? Pa·m3/sec 以下

CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等