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產品簡介
FIB耗材配件簡介:
聚焦離子束(FIB)技術在材料科學、半導體制造、納米技術等眾多前沿領域都發揮著關鍵作用。
電鏡離子源耗材主要指?聚焦離子束?(FIB)中消耗性的發射源核心組件及關聯電極,核心為?液態鎵離子源?(LMIS),配套包含?拉出極、抑制極、光闌?等易損件 。??
核心耗材分類:
? 液態金屬離子源總成?:以高純度鎵為發射材料,封裝于尖毛細管結構,屬定期更換的核心消耗品(壽命通常>1200 小時或特定庫侖量)。
? 電極組件?:?拉出極?(Extraction Electrode)與?抑制極?(Suppressor Electrode),常隨離子源更換或單獨替換,用于調控離子束發射與聚焦。
? 束流控制件?:?離子光闌?(Aperture),不同孔徑規格(如 40μm-750μm),用于限制束流大小,屬高頻磨損耗材 。
? 輔助配件?:陶瓷基座、密封件及專用安裝工具,部分機型包含一次性校準件 。??
常規透射電鏡(TEM)或掃描電鏡(SEM)多使用電子源(鎢燈絲、LaB6、場發射槍),?不使用離子源耗材?;僅雙束電鏡(FIB-SEM)或專用離子束設備涉及此類耗材 。
FIB耗材配件?國產替代現狀?:
目前已有國產液態鎵離子源及電極組件上市,參數兼容主流進口機型,可顯著降低維護成本與等待周期 。?
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