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產品簡介
| 產地類別 | 國產 | 分類 | 鈉離子 |
| 價格區間 | 面議 | 儀器類型 | 在線式 |
| 儀器種類 | 在線型 | 應用領域 | 半導體 |
隨著半導體制程不斷逼近摩爾極限,氣態分子污染物(AMC,包括酸、堿、有機物等)的痕量級管控已成為影響芯片良率與產能的關鍵因素。安徽皖儀科技股份有限公司依托高精度質譜、色譜領域多年的技術積淀,推出專業化的AMC監測解決方案,以高準確與穩定性、全自動化的儀器體系,以AI賦能,為半導體潔凈室環境、機臺環境提供專業化監測服務。
通過整合離子色譜與氣相色譜質譜聯用儀,可同時在線監測陰陽離子(F?、Cl?、Br?、NO??、NO??、SO?2?、PO?3?、NH??等)和116種VOCs(包括苯系物、鹵代烴、醛酮、摻雜劑、溶劑、副產物等),實現PPT級酸、堿、有機物全面監控。
通過整合CRDS、化學發光、紫外熒光、PID等原理之分析儀,可同時在線監測HCl、HF、SO?、NO?、O?、NH?、TVOC等氣態分子污染物,實現PPB級酸堿有機物的全面監控。







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