Surftest（表面粗糙度測量儀）SV-3100

178系列—表面粗糙度測量儀

表面粗糙度測量儀SV-3100系列產品可進行高精度、高水平分析和多功能粗糙度測量。

特點

三豐表面粗糙度測量儀SV-3100系列產品可進行高精度、高水平分析，多功能3D表面粗糙度分析，微細輪廓測量，以及原有的表面粗糙度測量。

自動調水平工作臺、3軸調整臺等外部設備的應用，有效增強了該產品的操作性能，同時也真正實現了自動測量。

安裝了專業資料分析軟件SURFPAK-SV使用這一軟件，可對從車間和實驗室中得到的資料進行統一格式的管理。

采用陶瓷制作的X軸驅動部導軌，因為陶瓷具有*的防磨損性能。無需潤滑油也能正常工作。

為了保證高精度測量，在X軸和Y軸（選件）上都內置了高清晰度的玻璃尺（X軸分辨率：0.05μm,Y軸分辨率：1μm）因為要保證SV-3100系列產品具有高度的可靠性，特別是對于水平粗糙度參數（S,Sm）,X軸的分辨率就必須達到相當的水平。

配有高精度測針。

配有多種功能，如“直線度補償功能”，可確保X軸的線性精度；“圓度補償功能”，可保證測針的垂直移動；以及“針尖半徑補償功能”等。

測針和測針導頭都可輕松替換。可選測針和滑軌可適應各種粗糙度測量的需要，如小孔測量、深孔測量等。

在各種型號中，還提供了易于操作的控制箱。控制箱與主機分離，可遙控執行定位、開始／停止測量、返回以及遠程進行其他操作。驅動部的上／下位置和X軸的移動都可手動進行微調。

技術參數

X軸

　測量范圍:100mm或200mm

　分辨率:0.05μm

　檢測方法:線性編碼器

　驅動速度:0-80mm/s

　測量速度:0.02-5mm/s

　移動方向:向后

　直線度:（0.05+1L/1000）μm*

（0.5μm/200mm:測量范圍為200mm的型號）

　傾角范圍:±45º

Z2軸（立柱）

　垂直移動:300mm或500mm、動力驅動

　分辨率:1μm

　檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器

　驅動速度:0-20mm/s

檢測器

　范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,

8μm/0.0001μm（使用測頭選件

時，zui大可達2400μm）

　檢測方法:無軌／有軌測量

　測力:4mN或0.75mN（低測力型）

　測針針尖:金剛石、90º/5μmR

（60º/2μmR:低測力型）

　導頭曲率半徑:40mm

　檢測方法:差動電感式

基座尺寸（H）:600x450mm或1000x450mm

基座材料:花崗巖

尺寸（DxH）:756x482x966mm（S4型）

756x482x1166mm（H4型）

1156x482x1176mm（W4型）

766x482x966mm（S8型）

766x482x1166mm（H8型）

1166x482x1176mm（W8型）

重量140kg（S4,S8型）

150kg（H4,H8型）

220kg（W4,W8型）

*L為驅動長度（mm）

評估能力:SURFPAK-SV

評估輪廓

　P（主輪廓）,R（表面粗糙度輪廓）,WC,WCA,WE,WEA,　　

　DIN4776輪廓、包絡殘余線、粗糙度motif、波形motif

評估參數

　Ra,Rq,Rz,Ry,Rz（JIS）,Ry（DIN）,Rc,Rp,Rpmax,Rpi,Rv,Rvmax,Rvi,

　Rt,Rti,R3z,R3zi,R3y,S,Pc（Ppi）,Sm,HSC,mr,?c,plateauratio,

　mrd,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,?a,?q,?a,?q,Sk,Ku,Lo,Lr,A1,

　A2

　粗糙度motif參數:Rx,R,AR,SR,SAR,NR,NCRX,CPM

　波形motif參數:Wte,,W,AWSW,SAW,NW

分析圖表

　ADC,BAC1,BAC2、功率譜圖、自相關圖、Walsh功率

譜圖、Walsh自相關圖、傾斜分布圖、局部峰值分布圖、

參數分布圖

濾波類型2CR-75%,2CR-50%,2CR-75%（相位校正）,

　2CR-50%（相位校正）,高斯-50%

截止波長*

　?c:0.025mm,0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm,25mm

　fl:0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm,25mm

　fh:0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm

取樣長度（L）*

　0.025mm,0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm,25mm

取樣長度

　傾斜補償、R平面（曲面）補償、橢圓補償、拋物線補償、

　雙曲線補償、二次曲線自動補償、多項式補償、

　多項式自動補償

可在0.025mm至zui大移動長度間任意長度。

選件

178-611:階差樣板（2μm,10μm）

178-612:階差樣板

（2μm,10μm,79μinch,394μinch）

178-610:公制型4段階差樣板

（1μm,2μm,5μm,10μm）

178-047:三軸調整臺（包括998291）

178-016:調水平工作臺

178-042-1:DigimaticXY調水平工作臺（25x25mm）

178-052-1:DigimaticXY調水平工作臺（1"x1"）

178-043-1:XY調水平工作臺（25x25mm）

178-053-1:XY調水平工作臺（1"x1"）

178-019:精密卡鉗*

998291:精密V型塊*

181-902:帶夾鉗的V型塊

（zui大工件直徑:25mm）

181-901:帶夾鉗的V型塊

（zui大工件直徑:1"）

178-023:防震臺

178-024:防震臺架

218-007:儀器放置臺

166-215:儀器放置臺（帶有抽屜）

218-010:輔助臺

218-008:輔助臺

性能參數：