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產品簡介
光致發光影像系統詳細信息
綜述：Helios是全自動實時材料分級和過程控制的在線監控設備，用以鑒別太陽能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕，提高生產效率的同時降低成本。
應用：
1.進料監控通過少子壽命自動對晶圓定級
2.過程控制監控和優化關鍵工序，如擴散和鍍膜等
3.損傷鑒別檢測電池片成品的破損和微小裂痕
特點：
1.線上監控或線下分析都適用
2.采用InGaAs探頭提升測量靈敏度，減少檢測時間
3.采用高靈敏光學成像技術，每片晶圓測試時間<1s
4.鑒別并預防低質量材料進入高損耗工序，降低成本
5.采用簡單明了的圖形界面和是非判定
6.相比于其他同類PL系統更具性價比
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