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硅烷化作用是指將硅烷基引入到分子中，一般是取代活性氫（如：羥基hydroxyl, 羧基carboxylic acid, 胺amine, 硫醇thiol, 磷酸鹽phosphate）。活性氫被硅烷基取代后降低了化合物的極性，減少了氫鍵束縛。因此所形成的硅烷化衍生物更容易揮發。同時，由于含活性氫的反應位點數目減少，化合物的穩定性也得以加強。硅烷化化合物極性減弱，被測能力增強，熱穩定性提高。