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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> Transpwctor XPR3 氣體分析系統(tǒng)
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| ·新設(shè)計(jì)的離子源使污染的產(chǎn)生zui小化,從而延長(zhǎng)使用壽命 和提供更清楚的訊號(hào)。 |
| ·新型EM在PVD工藝壓強(qiáng)下工作,提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換,簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)的解譯過(guò)程。 |
| ·新型加長(zhǎng)的四極桿場(chǎng)可提高低質(zhì)量范圍的過(guò)濾能力,提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度,從而改善氫的監(jiān)測(cè)靈敏度。 |
| Transpwctor XPR3是新一代的高壓強(qiáng)四極場(chǎng)工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎(chǔ)上,在物理相汽沉積(PVD)檢測(cè)中具有無(wú)比高的靈敏度、精確度和靈活性。一系列技術(shù)上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空,無(wú)需大型負(fù)責(zé)的壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換設(shè)備。 |
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| ·PVD工藝模塊 |
| ·預(yù)清洗模塊 |
| ·Non-cluter PVD設(shè)備 |
| ·Clamped的除氣模塊 |
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