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桌面型多場輔助化學機械拋光設備
桌面型多場輔助化學機械拋光設備,最大兼容4英寸樣品，可定制特殊尺寸拋光頭。3-8氣路通道。使用專門結構“兩點波珠定位"法蘭設
計。定位準確，拆裝方便。
樣品加工尺寸：最大兼容4英寸，可定制特殊尺寸拋光頭。
工藝裝夾方式：手動操作。
拋光頭下壓力：最大350N(根據需求可開放更高壓力)
拋光頭轉速：最高120RPM(根據需求可開放更高轉速)
拋光盤轉速：最高120RPM(根據需求可開放更高轉速)
拋光盤直徑：300mm。
拋光液：2路，流速最高200mL/min(根據需求可開放更高流量)
在線測量模塊：電機扭矩、轉速、氣壓等。
多場模塊：可選配電化學模塊、光催化模塊
保持環/樣品獨立氣壓控制，可實現多段施壓。桌面型多場輔助化學機械拋光設備
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