產品特點

• 雖環境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應物的活性。因此，這些具有反應活性的中性物質很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發生非平衡的化學反應沉積生成薄膜。

• 科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統。

• 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質量流量計和高真空系統氣體組成

開啟式管式爐

• 工作溫度：1200℃

• 爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

• 溫度控制器：30段高精度數字可編程溫度控制器

• 加熱區長度：440mm

• 恒溫區長度：150mm

• 功率：AC 220V 4KW

等離子射頻電源                        

• 輸出功率：50-500Wzui大可調±1%

• RF頻率： 13.56MHz的±0.005%穩定可調

• 噪聲：≤55DB

• 冷卻：風冷

• 輸入功率：1KW  AC 220V

真空泵和閥門                          

• 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

• 真空度可達10-3torr

• 數字真空壓力表可直觀的顯示數值

• 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

質量流量計

• 內部裝有高精度數字顯示質量流量計可準確的控制氣體流量

• 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

• 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

• 不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入

• 進氣口：采用標準雙卡套接頭

4路質子混氣管式PECVD系統細節圖展示

外形尺寸

• 爐體：550*380*520mm

• 供氣及真空系統：600*600*597mm

• 凈重：120KG

質保期

一年質保期相關耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件

質量認證

  CE認證

國家

名稱：可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置

編號：ZL-2011-2-0355777.1

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