目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV
GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),zui高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
| 管式爐結(jié)構(gòu) |
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| 加熱元件 |
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| zui高工作溫度 | 1700°C | |||||||
| zui大升溫速率 | 5°C/min | |||||||
| zui大降溫速率 | 5°C/min | |||||||
| 加熱區(qū)長度 | 455mm (18") | |||||||
| 恒溫區(qū)長度 | 150(+/-1°C) | |||||||
| 溫控系統(tǒng) |
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| 控溫精度 | +/-1°C | |||||||
| 爐管材質(zhì)和尺寸 |
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| 密封法蘭 |
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| 輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:zui大5KW | |||||||
| 真空泵和配件 | 真空泵 |
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| 配件 |
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氣體流量計![]() |
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| 運輸信息 | 產(chǎn)品尺寸 |
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| 凈重 | 450 lb (總計) | |||||||
| 運輸重量 | 500 lb (總計) | |||||||
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件 | |||||||
| 質(zhì)量認證 | CE certified | |||||||