ZA57630阻抗分析儀|深圳華清儀器儀表有限公司供日本NF/ZA57630阻抗分析儀

“True Value”
測量真正的特性。

▲ ZA57630

從電子零件、半導體器件到材料的特性評價，應對多樣的阻抗測量需求　　　　

基本精度

頻率范圍

阻抗范圍

測量 AC 信號級別

DC 偏置

測量時間

測量參數

±0.08%

10 µHz～36 MHz

10 µΩ～100 GΩ (模式: IMPD-EXT)

0.01 mVrms～3 Vrms
0.1 µArms～60 mArms

−5 V ～ +5 V/−40 V ～ +40 V (1 kHz以上)
100 mA ～ +100 mA

0.5 ms/point

Z, R, X, Y, G, B, Ls, Lp, Cs, Cp, Rs, Rp, θz, θy, D, Dε, Dµ, 
Q, V, I, εs, εs’, εs”,µs, µs’, µs”, FREQUENCY

快速測量  業界zui快 0.5 ms/point

實現了業界zui快的0.5ms/point。
縮短生產線的節拍時間，提高測量作業的效率。
此外，通過增加設定的測量時間，使測量結果平均化，減輕噪聲的影響。可視需要選擇zui合適的測量時間。

4種測量模式  應對廣泛的DUT

IMPD-3T
   標準測量模式

本模式可以在廣泛的頻率范圍內進行高精度測量。可使用測試線及測試夾具，應對各種形狀的試樣。

IMPD-2T
   高頻測量模式

本模式可以在 10MHz 以上的高頻下進行穩定的測量。使用 N 型連接器進行 2 端子測量，即便配線長，也可以進行穩定的測量。

IMPD-EXT
  外部擴展測量模式

本模式為外部連接放大器或分流電阻等物進行測量。
可以通過施加高壓信號或檢測微小電壓 / 電流進行單獨使用本儀器無法應對的測量。

G-PH
   增益/相位測量模式

本模式可以測量濾波器、放大器等的傳輸特性。向被測電路施加掃描信號，高精度地測量其頻率響應（增益、相位）。

正面面板測量端子

結合用途配備豐富的功能！
以DUT特性的設定，支持高重現性且準確的測量。
準確的評價基于實際使用的操作條件。

電子零件、電子材料可能因測量頻率及施加的信號級別而表現出不同的特性。電容器和電感器存在因寄生成分引發的頻率依賴性，二極管等半導體器件由于 DC 偏置疊加而產生特性變化。
要評價真實的特性，重要的是頻率、AC 振幅和 DC 偏置的掃頻，在實際的操作條件下進行測量。

特點

• ● 掃頻
• ● 延遲功能
• ● 標記操作

• ● 測量條件等的設定
• ● 自動高密度掃頻
• ● 順序測量

• ● 量程
• ● 誤差校正
• ● 圖表顯示

豐富的功能

• ● 共振點跟蹤測量
• ● 相對介電常數測量
• ● 外部基準時鐘

• ● 等效電路估算
• ● 相對導磁率測量
• ● 存儲器操作

• ● 壓電常數計算
• ● 比較器 / 處理器接口

掃頻   頻率、AC 振幅、DC 偏置、零頻寬

AC 振幅掃描

掃頻

DC 偏置掃頻

零頻寬

不變更頻率、AC 振幅和 DC 偏置的參數，按恒定的條件進行測量，觀察不同時間的特性變化（橫軸：時間）

● 也能應對點測

按恒定的頻率 /AC 振幅 /DC偏置進行測量，以數值顯示測量結果。zui多可以設定 6 個項目。
與比較器功能組合，可以進行篩選及判定是否合格。

生產線內的測量

測量條件等的設定

在 1 個界面內直觀地進行詳細設定

設定項目（SETTING VIEW）

設定圖表軸

設定頻率

量程

自動量程

監視測量結果，同時自動設定zui合適的量程進行測量。
檢測到超過量程的外部噪聲或直流分量時，重新設定為更大的量程并重新測量。測量數據的變化大時啟用。

固定量程

量程固定，因此不會產生因量程變化引發的測量值不連續（段差）。

延遲功能

如果在掃描過程中變更了頻率、AC 振幅等掃描參數，則瞬態響應將導致測量結果出現誤差。參數變更后，可以延遲開始測量的時間。延遲包括“延遲開始測量”和“延遲測量”，前者在開始測量時延遲，后者在掃描過程中每次變更參數時延遲。

自動高密度掃頻

在掃頻測量中，本功能限定在測量數據突變的區間自動提高頻率密度進行測量。
在壓電振蕩器、晶體振蕩器等的共振特性測量中，本功能在相位急劇變化的共振附近的測量中啟用。

誤差校正

為進行準確的評價，需根據測量誤差因子進行校正。

為進行準確的測量，需適當校正殘余阻抗、電纜長度等各種測量誤差因子。

開路校正

減少因殘余導納引起的誤差

短路校正

減少因殘余阻抗引起的誤差

負載校正

以具有已知值的試樣作為標準阻抗，校正與真值的偏差

端口延長

使用長電纜時，校正因傳輸延遲時間而產生的相位誤差

電位梯度消除

消除測量信號所含的電位波動波形的影響。在由于電池等的充放電會引起電位變化的試樣的測量中啟用

補償

預先測量連接到外部的傳感器、電纜等測量系統的頻率特性，校正測量系統的誤差成分

輸入加權碼

校正探頭的衰減量及前置放大器的增益

自行校準

校正自身誤差

標記操作

本功能用于讀取所顯示的圖表中 X、Y1、Y2 的測量值。
zui多可使用 8 個標記。

Δ標記　顯示與基準標記（標記 1）的差異

ΔTRKG 標記

與Δ標記同樣顯示差異，移動到標記 1 時，保持恒定的掃描值差異，同時進行移動

標記搜索功能

可自動搜索與設定條件一致的點

順序測量

本功能預先設定多項所需的測量條件，按照該條件依次進行測量。zui多可將掃描范圍分割成 32 部分，各范圍內按照不同的測量條件進行測量。
可高效地測量因電壓值而使特性發生變化的多層陶瓷電容器（MLCC）、電感器及變壓器等器件。

圖表顯示

SINGLE 顯示 /SPLIT 顯示

可選擇在 1 個畫面內顯示 1 個圖表的“SINGLE”和上下顯示 2 個圖表的“SPLIT”

相位顯示操作

±180°、0°～＋360°、－360°～0°、UNWRAP（連續顯示）、 360°移位、孔徑（群延遲特性）

跡線操作

可改寫測量數據跡線（MEAS）和zui多 8 條參照數據跡線（REF）

自動存儲

本功能在掃描測量結束后自動將 MEAS 跡線復制到 REF 跡線中。在隨時間而變化的特性觀測中啟用。

● SPLIT 顯示

● 自動存儲

共振點跟蹤測量

本功能在測量具有共振的試樣時，使測量頻率自動跟蹤試樣的共振頻率。 即使試樣具有振幅依賴性或共振頻率隨時間變化而波動，也可以始終進行與共振頻率一致的測量。本功能便于在壓電元件的共振點附近進行連續測量。

共振頻率變化（1.6 kHz→1.5858 kHz）、自動跟蹤

等效電路估算

本功能將掃頻測量獲得的阻抗特性應用于等效電路模型，從而求出LCR 元件的值（電感值、電容值、電阻值）。準備有以下 6 種模型。等效電路估算結果可以用 CSV 格式保存。

等效電路模型

壓電常數計算

本功能測量壓電陶瓷的頻率 - 阻抗特性，并計算機電耦合系數和壓電常數等。

按照 JEITA 標準《EM-4501A　壓電陶瓷振蕩器的電氣試驗方法》規定的方法計算參數。

測量結果顯示

常數計算畫面

相對介電常數測量

可以預先設定試樣尺寸等信息，將阻抗測量結果（Cp，Rp）換算為復相對介電常數進行顯示。

● 相對介電常數 εs

● 相對介電常數實部 εs’

● 相對介電常數虛部 εs”

● 損耗率 Dε

εs’−εs”

εs−Dε

相對導磁率測量

可以預先設定試樣尺寸等信息，將阻抗測量結果（Ls, Rs）換算為復相對導磁率進行顯示。

● 相對導磁率µs

● 相對導磁率實部 µs’

● 相對導磁率虛部 µs”

● 損耗率 Dµ

µs’−µs”

µs−Dµ

比較器 / 處理器接口  用于生產線!

測量速度 zui快 0.5 ms/point，縮短了節拍時間，
并進一步*了零件篩選功能!!

比較器功能針對測量結果預先設定判定范圍，為篩選試樣而進行分類以及判定是否合格。

比較器設定畫面

分類判定

本功能zui多可將判定結果分為14類。判定結果

極限判定

本功能在已設定的范圍內判定測量結果是否合格。

區域判定

本功能通過X軸(掃描參數)和Y1/Y2軸(測量結果)的2個維度判定掃描測量結果是否合格。

處理器接口

可以將比較器的判定結果輸出到背面面板上配備的處理器接口連接器。通過連接零件處理器，可以構建零件的自動判別系統。

外部基準時鐘

外部的 10MHz 時鐘信號可以用作基準時鐘。
通過使用精度高于內部基準時鐘的基準時鐘，可以提高測量頻率的精度和穩定性。
此外，通過采用與其他儀器通用的基準時鐘，可以共享頻率精度。

配備于背面面板

存儲器操作

測量條件及測量數據可以保存到內存或 USB 存儲器中，也可以進行讀取。

● 用于電化學阻抗特性測量

配備用于測量各種電化學阻抗的功能，例如測量電池的內部阻抗等。

• ● 可以從超低頻10μHz開始測量
• ● 利用電位梯度消除功能，抑制充放電對電位變化測量的影響
• ● 利用0° SYNC功能，在相位0°處變更測量頻率，使測量前后對試樣的電荷轉移量為零。
• ● 利用測量同步驅動功能，僅在測量過程中輸出信號，
     從而將施加信號產生的電池負擔減輕到zui小限度。

測量實績數據 (各類電子元件以及電子材料)

電容器

●0.1μF 電容 (引腳元件) 電容頻率測量 標準測量模式 (IMPD-3T)

●0.1μF 電容 (引腳元件) 阻抗頻率測量 標準測量模式 (IMPD-3T)

●4.7μF 電容器 (SMD元件) 電容ESR測量 標準測量模式 (IMPD-3T)

電感器

●10μH 電感器 (SMD元件) 自諧振頻率測量 標準測量模式 (IMPD-3T)

●RFID傳輸用天線電感器 (PCB裝機) 共振頻率測量 高頻測量模式 (IMPD-2T)

●220μH 線圈電感器 自諧振頻率測量 標準測量模式 (IMPD-3T)

電阻器

●50MΩ 電阻器 高阻抗測量 外部擴張測量模式 (IMPD-EXT) 連接外部寬頻電流放大器 (SA-604F2) 所測量

壓電元件

●壓電陶瓷振蕩器

共振頻率測量 標準測量模式 (IMPD-3T) 利用marker操作，顯示共振點的數值

共振頻率測量 標準測量模式 (IMPD-3T) 使用marker操作，顯示共振點·fangong振點的數值

液體

●純凈水

阻抗頻率測量 標準測量模式 (IMPD-3T) 使用液體測量治具所測量

介電常數測量 通過左邊的阻抗頻率測試結果所計算出的介電常數數值 (εs´, εs”)

電路

●CR濾波器 (fc≒10 MHz) 增益/相位測量 (G-PH) 增益/相位測量模式

選購件

測試夾具、測試導線

通用部件

針對多種形狀的被測物穩定測試

● 2324 4端子鱷魚夾測試導線 測量頻率 ≤ 100 kHz	● 2325AL, 2325AM 開爾文夾測試導線 測量頻率 ≤ 100 kHz
● ZM2392 開爾文測量夾測試導線 測量頻率 ≤ 20 kHz	● ZM2391 3端子鱷魚夾測試導線 測量頻率 ≤ 20 kHz

芯片部件

2端子或4端子連接的表面鑲嵌安裝部件測試用治

● ZM2394 芯片測試夾具 測量頻率 ≤ 2 MHz 對應部件尺寸 0603 (厚度 0.3mm)～ 14 mm 角	● ZM2394H 芯片測試夾具 測量頻率 ≤ 30 MHz 對應部件尺寸 0603 (厚度 0.3mm)～ 14 mm 角	● ZM2393 芯片測試夾具 測量頻率 ≤ 1.2 MHz 對應部件尺寸 1608～5750
● ZM2366 芯片部件用測試導線 測量頻率 ≤ 10 MHz 先端間隔 0～8 mm (typ.)	● 2326A 芯片部件用測試導線 測量頻率 ≤ 1.2 MHz 先端間隔 0～8 mm (typ.)

導線類部件

插入試料上部便可進行測試

● ZM2363 測試夾具 測量頻率 ≤ 10 MHz