全反射X射線熒光光譜儀(TXRF)是一種用于多元素微量分析的科學儀器，通過全反射X射線熒光技術實現對液體、懸浮液、固體及污染物樣品中主量和微量(包括超微量)元素的快速、高靈敏度檢測。
TXRF通過很小角度(通常低于0.1°)的入射X射線照射樣品表面，使X射線發生全反射現象。此時，入射X射線不再被樣品散射，而是僅激發樣品表層微米級物質，產生特征X射線譜。這一過程明顯降低了散射光子對探測器信號的干擾，使背景噪聲大幅降低(較常規XRF降低約四個量級)，從而實現納克(ng)量級痕量元素的檢測。
當 X 射線以小于臨界角(通常 0.1°-0.5°) 入射到樣品載體(如石英片)表面時，會發生全反射，避免載體對 X 射線的吸收和散射；樣品(均勻鋪展在載體表面，厚度≤100nm)中的元素原子被激發，發射出特征 X 射線熒光(XRF)；通過探測器采集特征 X 射線的能量和強度，根據能量識別元素種類，根據強度定量計算元素含量。
特點：
高靈敏度與低檢測限：適用于超細顆粒物和痕量元素分析。
樣品用量少：僅需微升級或微克級樣品，即可完成準確分析，尤其適合樣品量有限的情況。
無基體效應：全反射幾何配置減少了樣品基底對測量結果的干擾，定量分析更簡單。
快速無損檢測：單次檢測時間可縮短至5分鐘以內，且無需破壞樣品。
多元素分析能力：可同時檢測多種元素，如鉻、鉛等8大主要重金屬元素，或根據需求擴展至近30個元素。
操作簡便與安全：觸控界面直觀，且輻射暴露風險較低，保障操作人員安全。
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