當前位置:寧波旗辰儀器有限公司>>技術文章>>EM-30臺式掃描電鏡工作與設計原理
在臺式掃描電鏡領域,傳統設備多依托BSD探測器完成成像工作,該成像方式存在分辨率不足、成像細節表現力差等固有局限,難以滿足精細化微觀檢測需求。EM-30超高分辨率臺式掃描電鏡打破了行業傳統設計思路,借鑒大型掃描電鏡的成熟成像原理,完成了設備結構與成像系統的優化升級。
設備核心采用創新雙聚光鏡成像技術,摒棄了傳統臺式電鏡的BSD探測成像模式,以二次電子探測器作為基礎成像核心單元。二次電子探測成像的核心優勢在于能夠精準捕捉樣品表面的微觀形貌信號,還原樣品表面的凹凸結構、細微紋理等細節特征。搭配雙聚光鏡的聚焦優化作用,可精準收斂電子束,提升電子束的穩定性與聚焦精度,有效減少成像過程中的信號干擾與圖像模糊問題。
這種專業化的結構設計,讓臺式小型電鏡實現了大型掃描電鏡的基礎成像能力,使設備成像分辨率可達5nm級別,真正實現了小型臺式設備的超高分辨率成像,解決了傳統臺式掃描電鏡微觀檢測精度不足的痛點,同時保留了臺式設備小型化的結構優勢。
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